模块化的工艺室提供了多种可能性。它可以在以下方面进行定制配置。
+ 气体或空气压力
+ 气体量和气体冲洗
+ 锁
+ 照明或辐照
+ 手套
+ 温度、湿度、气体掺杂、气体成分
+ 腔室的平行和串行连接
+ 箱体的打开、锁定和密封
+ 半导体行业
+ 医学和细胞研究
+ 化妆品开发
+ 动物试验
+ 肺部研究
+ 发布排放和不排放限制
+ 材料测试
+ 工具和设备的消毒
+ 物体表面的研究(卫生、抗气蚀)
+ 生命科学测试
+ 孵化器
+ 传感器测试
箱体材料:不锈钢、有机玻璃、矿物玻璃
箱体大小:120升
内部尺寸。T600 x W600 x H350 毫米
真空技术。PFEIFFER VC组件
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