旋转磁电管

圆柱圆形

高功率射频磁控溅射阴极可成功应用于研发和生产，前提是在结构上采用特定的设计标准。 圆形高功率射频磁控管可直接冷却，外径为 2 英寸-8 英寸。 由于射频功率在高频率下运行，因此磁控溅射阴极的设计必须能够控制该功率。Angstrom Sciences 的高功率射频磁控管设计用于在目标表面均匀传输射频能量，同时提供低反射功率和射频限制。 高功率射频磁控管有圆形和线性两种配置。