平面磁电管

圆柱

Angstrom Sciences 因其为磁控溅射应用带来的尖端技术而享誉全球。现在，我们已经开发出一种方法，用我们获得专利的异型磁铁设计改装您现有的圆柱形磁控管--为您的工艺带来 Angstrom Advantage™。 经济型解决方案 圆柱形磁铁改装具有上述所有优点，而成本仅为更换现有圆柱形组件的三分之一。 -磁体完全封装在不锈钢中 > 高效水流 -高效水流 -与所有现有目标设计兼容 -无缝集成 -可调节的均匀性 -先进的转弯技术可产生更平整的侵蚀轮廓 -改进的沉积曲线减少了腔壁上的碎片堆积 -更高的场强可在较低功率水平下实现典型沉积率