Angstrom Sciences 因其为磁控溅射应用带来的尖端技术而享誉全球。现在,我们已经开发出一种方法,可将您现有的 MRC 型磁控管改装为我们获得专利的异型磁铁设计,从而将 Angstrom Advantage™ 应用于您的工艺中。
经济型解决方案
MRC 磁体改装可提供我们的异型磁体技术的性能优势,而成本大约只有更换整个现有 MRC 组件的三分之一。
-完全封装的磁体
-紊乱的水流
-提高热效率
-快速简便的插入式设计
-无缝集成
-高利用率阵列 - 35% 或更高的目标利用率
-高均匀性阵列 - 在尽量不影响利用率的情况下增加均匀性区域
-高磁性阵列 - 经过优化,可溅射厚度达 0.500 英寸的镍。
-MRC 内嵌式升级
-夹持靶转换
-定制靶宽 1.0"/ 1.5"/ 2.0"/ 3.0"
-在现有的单个空间内安装两个目标。
-适用于任何阴极的完整配件。
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