旋转磁电管

定制圆形

旋转磁控管是圆形磁控管的变体，其中的磁铁组围绕中心轴进行机械旋转。这种装置最初是为半导体应用而开发的，能以尽可能小的阴极直径对固定基板进行均匀镀膜。这项技术的其他应用还包括重新沉积在靶面上的材料会在生长的薄膜中产生缺陷的情况；在旋转磁控管中，整个靶面都会被转速在 20 到 600 RPM 之间的磁铁组扫除干净。 Angstrom Sciences 提供一系列旋转磁控管，直径从 4 英寸（100 毫米）到 16 英寸（406 毫米）不等，设计有可调磁铁配置，可实现工艺优化和均匀性增强。我们的磁控管可安装在内部或外部。 旋转式磁控管可在不移动基片的情况下提供出色的均匀性。 再加上全表面侵蚀，微粒污染造成的缺陷极低。这些磁控管还可以集成到空间有限的机器中，为您的应用提供更大的灵活性。