圆形磁电管

Angstrom Sciences 的圆形磁控管已被公认为溅射行业的标准，因为它具有 Angstrom Advantage™ 和许多其他设计特点，在配置和工艺性能方面几乎提供了无限的可能性。 其紧凑的设计使我们的圆磁控管成为任何新应用或改装应用的理想选择，包括用于最小真空室的最复杂的簇组件。 低阻抗磁头兼容射频、直流、中频直流、脉冲直流、HiPIMS 和微波功率。 我们使用 ISO NW 标准接头以及 Conflat® 金属密封法兰。所有公用设施均保持在大气压下，并通过标准 O 型环压缩接头接入，便于在任何真空系统中安装。 圆形磁控管源的目标直径从 1 英寸（25 毫米）到 16 英寸（406 毫米）或更大，可采用标准或定制配置。 小圆形阴极上的专利螺纹靶夹和阳极屏蔽使您无需使用辅助工具即可更换靶。它们的内置可调节性还能让您在不使用任何间隔装置的情况下安装不同厚度的靶材。 ONYX® 磁控管可在极低的压力下工作（低至 10-4 托范围），我们的直接冷却设计可提供高达 250 瓦/平方英寸（30 瓦/平方厘米）的连续工作功率密度。