圆柱磁电管

可使用 3 英寸（75 毫米）或 5 英寸（125 毫米）背管直径的插入式和侧面安装式全套组件，长度可达四米，并具有最小的源对源间距，可为紧凑型高产能生产系统提供多个在线阵列。 ONYX-Revolution™ 采用通用、高性价比的磁体设计，具有定制的周转能力，适合任何类型的目标。而且，它采用现成组件设计，成本低、投资长、可靠性高。 Angstrom Sciences 的专利异型磁铁技术可在源和基底之间形成更接近正常的沉积轮廓。改进后的沉积剖面可减少腔室壁上的碎片堆积。 此外，Angstrom Sciences 的磁铁阵列还能提供更高的磁场强度，从而使用户能够以更低的功率运行溅射工艺，以达到典型的沉积速率。 从本质上讲，圆柱形磁控管可容纳的目标材料数量是具有相同空间面积的平面磁控管的三倍。Angstrom Sciences 的 ONYX-Revolution™ 进一步优化了材料投资，靶材利用率高达 85%。此外，在较低功率水平下运行通常可节省 20% 的功率。