质量流量传感器 PFLOW301U-2210

空气模拟输出硅压阻式

测量范围 [SCCM］ 0...30 输出信号 线性，1...5 VDC 精度 [± % FS] 最大值 2.5 电源电压 [VDC］ 8...14 湿度范围 0...100% RH，抗水凝材料 碳化硅、环氧树脂、PPS、FR4、硅树脂作为静态密封供应商 Angst+Pfister 传感器和电源事业部 产品描述 PFLOW 系列质量空气流量传感器采用了最新的 MEMS 和微电子创新技术。传感器芯片使用一对热电堆来检测质量流量引起的温度梯度变化，具有超低的信号噪声和无与伦比的可重复性。传感器芯片上的 "固态 "热隔离消除了 传感器芯片上的 "固态 "热隔离装置消除了同类解决方案中使用的表面空腔或脆弱薄膜的需要，使传感器具有抗堵塞和抗压力冲击的能力。传感器的内部信号调节电路采用了现成的微控制器，具有公认的可靠性和低成本。 PFLOW 系列质量空气流量传感器的测量范围为 10 sccm 至 2000 sccm。传感器在 0 至 50 °C（32 至 122 °F）的温度范围内经过全面校准和补偿。线性化模拟输出（1 至 5 V）为客户提供了最大的灵活性和易用性。 可根据要求提供双向空气流量版本。 可根据要求提供双向气流型号。请咨询 PEWATRON