PFLOW5002 / PFLOWC5002 系列气体质量流量控制器可用于通用气体流量监测和控制应用。它们的机械连接有标准配置和多歧管配置两种。
测量范围 [SCCM]
0 至 0.05...20 SLPM
输出信号
线性、0.5...4.5 VDC、RS232、Rs485 Modbus
精度 [± % FS] 最大值
±1 r.d.或 ±0.2 f.s,以较大者为准
电源电压 [VDC]
8...24
湿度范围
0...95% RH,无冷凝
供应商
Angst+Pfister 传感器和电源部
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