质量流量传感器 PFLOW113U-2210

空气模拟输出硅压阻式

测量范围 [SCCM］ 0...1000 输出信号 线性，1...5 VDC 精度 [± % FS] 最大值 2 电源电压 [VDC］ 8...14 湿度范围 0...100% RH，抗水凝材料 碳化硅、环氧树脂、PPS、FR4、静态密封硅树脂 供应商 Angst+Pfister 传感器和电源事业部 产品描述 PFLOW 系列质量空气流量传感器采用了最新的 MEMS 和微电子创新技术。传感器芯片使用一对热电堆来检测质量流量引起的温度梯度变化，具有超低的信号噪声和无与伦比的可重复性。传感器芯片上的 "固态 "热隔离消除了 传感器芯片上的 "固态 "热隔离装置消除了同类解决方案中使用的表面空腔或易碎膜的需要，使传感器具有抗堵塞和抗压力冲击的能力。传感器的内部信号调节电路采用了现成的微控制器，具有公认的可靠性和低成本。 PFLOW 系列质量空气流量传感器的测量范围为 10 sccm 至 2000 sccm。传感器在 0 至 50 °C（32 至 122 °F）的温度范围内经过全面校准和补偿。线性化模拟输出（1 至 5 V）为客户提供了最大的灵活性和易用性。 可根据要求提供双向空气流量版本。 可根据要求提供双向气流型号。请咨询 PEWATRON