Angst+Pfister Sensors and Power 公司的新型质量流量计和质量流量控制器采用了最新一代的 MEMS 传感器元件。除了出色的精度和可重复性外,传感器芯片还采用氮化硅钝化处理和纳米材料涂层,具有出色的耐介质性。流量传感器和控制器有不同的版本,从带有开放式电子元件和用于多歧管装配的安装块的 OEM 变体,到包括外壳和世伟洛克接头的完整质量流量控制器。电子接口包括简单的模拟输出、Modbus RS232/RS485 或 I2C。也可根据要求提供完全定制的变体。
测量范围 [SCCM]
0 至 0.1...20 SLPM 或 0 至 ±0.1...±20 SLPM
输出信号
线性,0.5...4.5 VDC,Rs485 Modbus,I2C
精度 [± % FS] 最大值
±1 r.d.或 ±0.2 f.s,以较大者为准
电源电压 [VDC]
8...24
湿度范围
0...95% RH,无冷凝
供应商
Angst+Pfister 传感器和电源部
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