Sigma4000 多点气流选择器可将多个采样点复用到两台 ta3000 或 ta5000 过程气体分析仪上,确保超高纯气体供应,而无需为每个气流专门配备一台仪器。
通过减少每个采样点对单独分析仪的需求,Sigma4000 可以显著降低超高纯(UHP)气体监测的成本。
在过程气体分析仪的控制下,它可以依次对多个气流进行检测,也可以通过编程在大型净化器的入口和出口之间进行切换,以验证其性能。
Sigma4000 多点气流选择器与 AMETEK Process Instruments 的 ta3000 和 ta5000 分析仪无缝兼容,是工业气体、LCD/OLED 显示屏制造和半导体行业的理想之选。
保持高流速
为保持高流速,Sigma4000 采用了特殊的吹扫组件和旁通网络,消除了每个截止阀下游的死体积。压力控制分流器可在不降低外部采样管路流速的情况下提供低流量。
卓越的技术
通过精确设计的双流歧管)消除下游死体积并快速吹扫通向分析仪的共流通道,可防止样品交叉污染。分析仪流路中只使用轨道焊接或真空钎焊接头。
数据存档
数据收集查看器软件以表格形式整理来自工艺气体分析仪的信息,并提供 24 小时趋势报告。样品流 ID 编号、时间、分析数据和报警条件随时可供本地查看或网络共享。
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