5820 是一款易于使用的过程水份分析仪,具有多种性能特点和在线验证系统。它是重要的低水平湿度测量的理想选择。
5820 采用高性能石英晶体微天平 (QCM) 技术,具有超高的精度和出色的多气体兼容性。它具有快速响应速度和出色的校准稳定性。
QCM 技术和在线验证相结合,可不断向操作人员保证分析仪的性能处于卓越水平。
5820 水份分析仪可对纯度和质量控制进行低水平监测,非常适合用于 LCD/OLED 显示屏制造和半导体行业。
兼容多种气体
5820 具有多气体兼容性,可定期测试多种气体样品。只需选择一个简单的菜单,分析仪就能重新配置为新的气体类型。5820 兼容几乎所有非腐蚀性气体以及六氟化硫等许多特殊气体。
超高精度
5820 是需要精确结果的水分应用的理想之选,其精确度为 ±10 体积分数 (ppbv) 或读数的 ±10%。该精度由在线验证系统提供支持。
测量范围宽
5820 可以精确测量 0.01 ppmv 至 100 ppmv 的范围。它还能测量高达 1000 ppmv 的浓度,以捕捉工艺失常的本质。
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