真空模块

真空室模块设计用于在真空或屏蔽气氛下对小批量生产的封装进行激光焊接。 作为全尺寸手套箱的有效替代品，真空室模块可安装在 NOVA-6 内。该模块由真空室、真空泵、安全超压阀、底板和管道组成。 真空泵将真空室抽真空至几毫巴。在这种真空环境下，激光可以穿过盖板玻璃进行焊接。 操作员可以选择用可控气氛冲洗腔室（和封装）。在重复 2 到 3 次抽气和冲洗动作后，设备将获得适合关闭封装的气氛。 - 湿度和含氧量低 - 真空泵将真空室抽成真空 - 通过盖板玻璃进行激光焊接 - 特种和小批量系列的理想选择