管状炉 IWQ

用于熔化燃气真空

ALD的IWQ归纳加热了石英辐射管烧成炉找到许多应用，每当专门研究，高温过程需要与发热设备被隔绝。因为没有被处理的感应加热来源和材料之间的化工互作用材料在IWQ熔炉加热了有高度纯净。IWQ系统是可利用的在各种各样的大小由1米管直径决定，并且2 ‑测量长的处理房间。能量被结合入原料通过susceptor或直接地通过电荷载流子。归纳加热了，石英辐射管烧成炉可能容纳受控大气例如减少(氢)，氧化，惰性气体和真空以及防止受到积极的蒸气和化学制品在温度2000个°C。IWQ熔炉也提供高度轴向和辐形温度均一。