AERZEN 罐装电机真空鼓风机是一种容积式鼓风机,带有一个密封的
驱动装置,是输送腐蚀性和中性气体的理想选择。由于功率大、可靠性高、效率高,这些真空系统在工业高真空技术中非常有用。
AERZEN 罐装电机鼓风机的优势一览:
四种电机类型,种类繁多
高度灵活的真空元件,具有垂直和水平流动方向
高机械强度泵(HM 型可达 230 毫巴)
氮气和水消耗量低
减少抽气停机时间
中性或腐蚀性气体?AERZEN 为这两种气体提供解决方案!
AERZEN 带有密封驱动装置(HM)的真空鼓风机专为输送中性和腐蚀性气体而设计,在工业高真空技术中有着特殊的应用。真空鼓风机总是与前级泵*结合使用。
前级泵在大气压下开始工作。真空泵通常在大约 50 至 200 毫巴时连接,然后开始降压过程。根据不同的应用,可使用液环泵、滑片旋转真空泵或螺杆真空泵作为前级泵。如果配备有 AERZEN 变频器和特殊参数集,也可以使用从大气压开始的前级泵进行操作。
应用领域
半导体工业
微电子工业
平板显示器生产
激光技术
太阳能技术
氦气泄漏指示装置
化学工艺技术
铝箔和玻璃涂层
熔炉制造
氢气排放
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