线性纳米定位平台 ANT95L series
直线伺服电机单轴交叉滚子

线性纳米定位平台
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产品规格型号

方向定位
线性
类型
直线伺服电机
轴数量
单轴
其他特性
精准, 铝制, 高速, 交叉滚子, 直接传动
运行行程

25 mm, 50 mm, 75 mm, 100 mm
(0.984 in, 1.969 in, 2.953 in, 3.937 in)

速度

145 mm/s, 500 mm/s

重复精度

75 nm

载荷

5 kg, 7 kg
(11.02 lb, 15.43 lb)

产品介绍

我们的第二代ANT95L直线运动平台是满足纳米级运动和定位需求的领先解决方案。这些平台有多种配置,在分辨率、精度、可重复性、尺寸和可靠性方面都是同类产品中的佼佼者。此外,ANT95L平台还具有令人印象深刻的动态能力和更强的承载能力,是放大您的工艺过程的绝佳选择。 -增强型第二代设计 -实现最小增量运动至0.5 nm - 全新 -在最长100 mm的行程内实现纳米级定位性能 -采用高精度交叉滚柱轴承,具有优异的动态性能和较大的负载能力 -采用无铁直接驱动直线电机,优化了工艺产量并最大限度地提高了可靠性 -易于集成到多轴组件和运动子系统中 ANT95L平台是高精度和高动态定位应用的理想之选,这些应用包括 -光学装配与检测 -光纤对准与优化 -光学制造、测试和检验 -传感器测试和鉴定 -半导体加工和检测 -研究与实验室应用

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* 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。