我们的第二代ANT95L直线运动平台是满足纳米级运动和定位需求的领先解决方案。这些平台有多种配置,在分辨率、精度、可重复性、尺寸和可靠性方面都是同类产品中的佼佼者。此外,ANT95L平台还具有令人印象深刻的动态能力和更强的承载能力,是放大您的工艺过程的绝佳选择。
-增强型第二代设计
-实现最小增量运动至0.5 nm - 全新
-在最长100 mm的行程内实现纳米级定位性能
-采用高精度交叉滚柱轴承,具有优异的动态性能和较大的负载能力
-采用无铁直接驱动直线电机,优化了工艺产量并最大限度地提高了可靠性
-易于集成到多轴组件和运动子系统中
ANT95L平台是高精度和高动态定位应用的理想之选,这些应用包括
-光学装配与检测
-光纤对准与优化
-光学制造、测试和检验
-传感器测试和鉴定
-半导体加工和检测
-研究与实验室应用
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