旋转位移台 ABRS series

机动单轴高精度

我们的ABRS系列气浮旋转平台具有卓越的角度定位性能、速度稳定性和误差运动性能，而且外形非常小巧。ABRS设计用于满足晶圆检测、高精度计量、X射线衍射系统、光学检测和制造以及MEMS/纳米技术设备制造的严格要求。 -零齿槽电机实现出色的速度稳定性 -出色的误差运动和摆动性能 -低剖面平面设计 -无机械接触 ABRS系列直驱旋转平台的设计经过优化，最大限度地降低了平台高度。平台的低轮廓降低了系统的有效工作高度，最大限度地减少了与 "堆叠 "相关的误差。除了整体高度低之外，ABRS系列还提供了一个清晰的开孔，可用于产品馈通、激光束传输、电缆间隙或特定应用要求。