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六足式微定位系统 HEX150-140HL series
6轴XYZ轴压电

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产品规格型号

轴数量: XYZ轴, 6轴
构造: 六足式
其他特性: 紧凑型, 伺服操控式
重复精度: 0.15 µm, 0.4 µm, 0.75 µm, 1.5 µm
载荷: 2 kg, 7.5 kg
(4.41 lb, 16.53 lb)
运行行程: 16 mm, 40 mm
(0.63 in, 1.57 in)
传送速度: 8 mm/s, 20 mm/s

产品介绍

我们的HexGen® HEX150-140HL在紧凑而坚固的平台上提供稳定可靠的六自由度（DOF）运动。您将从超精细定位分辨率、充足的有效载荷容量、高工艺吞吐量等方面获益。HEX150-140HL可与我们功能强大的运动控制器灵活集成，操作直观，是需要复杂多DOF运动而可用空间有限的应用的完美选择。 -体积小巧，运动范围大，可轻松集成到复杂应用中。 -支持高达7.5 kg的有效载荷，抗反向驱动能力高达100 N -使用我们的控制器可与其他运动轴（伺服、步进、压电等）进行协调 -提供简单、方便的枢轴点调整 -搭配功能强大的控制和可视化软件 HEX150-140HL是解决空间受限、多自由度、要求精细定位分辨率的应用的理想选择，这些应用包括 -光子设备操作、对准和封装 -光学检测和对准 -光学晶圆探测 -航空航天和卫星传感器测试 -同步加速器和光束线样品操作

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此为机器翻译文本。 (查看英文原文)