六足式微定位系统 HEX150-140HL series6轴XYZ轴压电
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产品规格型号
- 轴数量
- XYZ轴, 6轴
- 构造
- 六足式
- 其他特性
- 紧凑型, 伺服操控式
- 重复精度
0.15 µm, 0.4 µm, 0.75 µm, 1.5 µm
- 载荷
2 kg, 7.5 kg
(4.41 lb, 16.53 lb)- 运行行程
16 mm, 40 mm
(0.63 in, 1.57 in)- 传送速度
8 mm/s, 20 mm/s
产品介绍
我们的HexGen® HEX150-140HL在紧凑而坚固的平台上提供稳定可靠的六自由度（DOF）运动。您将从超精细定位分辨率、充足的有效载荷容量、高工艺吞吐量等方面获益。HEX150-140HL可与我们功能强大的运动控制器灵活集成，操作直观，是需要复杂多DOF运动而可用空间有限的应用的完美选择。
-体积小巧，运动范围大，可轻松集成到复杂应用中。
-支持高达7.5 kg的有效载荷，抗反向驱动能力高达100 N
-使用我们的控制器可与其他运动轴（伺服、步进、压电等）进行协调
-提供简单、方便的枢轴点调整
-搭配功能强大的控制和可视化软件
HEX150-140HL是解决空间受限、多自由度、要求精细定位分辨率的应用的理想选择，这些应用包括
-光子设备操作、对准和封装
-光学检测和对准
-光学晶圆探测
-航空航天和卫星传感器测试
-同步加速器和光束线样品操作
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