XYZ轴定位系统 HexGen HEX500-350HL

6轴线性六足式

Aerotech的HexGen®六脚架代表了下一代六自由度(DOF)定位性能.HEX500-350HL是一款高负载, 超精密的六脚架, 是X射线衍射, 传感器测试和高力设备操作应用的理想选择. -精密设计，保证定位精度规格 -XYZ最小增量运动为20 nm，θxθyθz最小增量运动为0.2 µrad -灵活的配置和定制 -可根据要求提供真空准备 -功能强大的控制和软件，可视化工件和刀具坐标系 在运动系统的设计和规格中存在许多权衡。HEX500-350HL具有高负载能力、大行程、高转速和亚微米精度，不会迫使您在应用规格上做出妥协。 卓越的结构设计 HEX500-350HL由六个高精度支撑杆驱动，支撑杆由精密预载轴承、滚珠丝杠和驱动组件构成。与由直流有刷伺服电机驱动的竞争六脚架不同，HEX500-350HL由交流无刷无槽伺服电机驱动，最大限度地延长了设备的使用寿命和性能。伺服电机直接耦合到执行器滚珠丝杠，与使用皮带、减速机或顺从耦合器的竞争设计相比，能够提高驱动刚度、更高的定位精度和更好的最小增量运动（XYZ为20 nm，θxθyθz为0.2 µrad）。支杆枢轴接头的设计提供了低摩擦和高刚度，提高了六轴的整体性能。