射频等离子发生器 Paramount Plus

用于新兴等离子体应用的多级脉冲和脉冲波形控制 在脉冲射频产品中获得最广泛的功能集。Paramount Plus 提供精确的射频调节、复杂的脉冲操作和先进的数据采集功能。Paramount Plus 设计用于覆盖广泛的射频能量范围（频率为 1 至 60 MHz，功率为 1.5 至 15 kW），可提供您所需的可重复性和可靠性。 Paramount® Plus 脉冲射频电源 具有多级脉冲、脉冲波形控制以及脉冲射频电源中最广泛的 Paramount® Plus 具有多级脉冲、脉冲波形控制和脉冲射频产品中最广泛的功能集。 平台使您能够突破工艺创新的界限，并 提供市场上的最佳价值。出色的等离子稳定性、 出色的等离子稳定性、精确的射频调节、复杂的脉冲操作和先进的 数据采集提供了下一代节点所需的极高等离子体控制能力。 下一代节点所需的等离子体控制能力。 用户受益 精确的射频和脉冲控制 增强等离子稳定性和过程可重复性 快速响应等离子体变化 灵活性和适应性强，适用于不断进步的制造技术 半导体应用 PVD PECVD 蚀刻