对自由基等离子体光源 Xstream
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产品规格型号
- 技术参数
- 对自由基
产品介绍
高效的 Xstream® RPS 能解离大量 NF3 并快速清洁腔室，从而提高工具的整体性能。其等离子腔体采用高纯度铝合金，具有专利冷却功能。Xstream RPS 的使用寿命长达数年，无需维修或昂贵的腔室涂层，是可靠和高效性能的明智之选。
- 高度可靠的 RPS 可最大限度地延长工具的正常运行时间
- 有效地将反应物输送到工艺腔，提高性能
- 带有集成主动匹配网络 (AMN) 的变压器耦合等离子体 (TCP) 源
- 225 kHz 至 660 kHz 工作频率
- 8 kW/10 kW 功率型号
- 采用定制铝合金和 III 型硬质阳极氧化处理，消除了昂贵的腔室涂层
- 通过冷却系统最大限度地减少热应力，提高腔体性能和耐用性
- 通过主动匹配网络提高效率并改善等离子体的功率传输
- 通过实时等离子体测量精确控制功率和过程
- 通过获得专利的点火系统实现可靠、可重复的等离子点火
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SEGMENT: Pulsed and DC Power Systems
* 显示价格为参考价，此价格不含税、不含运费、不含关税，也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。