对自由基等离子体光源 MAXstream

Advanced Energy 的 MAXstream™ 系列是用于腔室清洗的新一代远程等离子源。MAXstream 提供 3、6、8、10 和 12 SLPM NF3 流量，以优化价格和性能。为确保腔室使用寿命长和颗粒生成量低，Advanced Energy 采用了其经过验证的差异化等离子源材料和技术。独特的双点火芯设计提供了同类最佳的等离子点火可靠性。MAXstream RPS 的特点是每次点火都很可靠，运行更稳定，减少了 RPS 维护的停机时间。MAXstream RPS 可与传统的 RPS 系统兼容，简化了设计兼容性，并可实现现场无缝升级到新的可靠、可重复的解决方案。 - 五种型号：MAXstream 300 用于小流量应用，MAXstream 600、800、1000 和 1200 用于大流量应用 - 高可靠性的 RPS 可最大限度地延长工具的正常运行时间 - 可与传统的 RPS 装置直接插入，方便设计升级，实现更高的性能和可靠性 - 增强等离子源壁冷却，减少热膨胀和化学侵蚀造成的损坏 - 主动监测和控制等离子功率，实现业界领先的功率控制