Ascent® DMS 系列为双磁控溅射提供了前所未有的功率输送便利性和控制性,可精确调整薄膜特性。Ascent DMS 附件具有可选频率、调节模式和占空比、低存储能量和简化的模块化系统配置等特点,是真正的新一代技术。它具有成本效益、可扩展性和多功能性,可最大限度地降低复杂性、提高质量和吞吐量,从而实现先进的工艺创新。 Ascent DMS MF-120 套件可为标准阴极提供经济高效的中频电源,同时提供双极脉冲技术优势。
- 提高薄膜价值:可重复、可定制的沉积薄膜
- 降低拥有成本,提高生产率
- 功率水平更高,稳定性更好,电弧损伤更小
- 易于扩展、集成和支持
- 模块化设计使您只需支付所需的费用,同时实现未来的功能扩展
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