随着制造技术的进步,新材料和阴极设计对工艺稳定性和薄膜可重复性提出了更大的挑战。Ascent® AMS 电源可提供稳定、可重复的功率,而不受工艺材料或阴极设计的影响。AMS 具有先进的电弧管理功能,可提供最大功率,并能更快地恢复到制程中。极快的恢复速度也意味着通过电弧输出的能量极低,可防止基底损坏。对于高功率应用,Ascent AMS 可用于初级/次级配置。常见的应用包括输出功率超过 100 千瓦的配置。不过,水冷/风冷组合设计可将发电机的占地面积降至最低。
- 电弧管理系统™ (AMS) 技术--客户可对金属和陶瓷目标进行预设
- 设定点补偿™ 技术
- Arc Sync® 技术--主/辅设备多达 12 台
- 以太网、EtherCAT®、DeviceNet®、Profibus、RS-232/485、Ethernet/IP 和模拟通信
- 获得高薄膜质量和产量
- 减少薄膜、基材和设备损坏
- 在极端电弧条件下实现稳定的产量和功率传输
- 易于集成和控制
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