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产品介绍
Navigator® ll 配备了微处理器控制的步进电机驱动器和先进的调谐算法,可优化射频功率。可选的内部 Z'Scan® II 射频传感器可对过程功率和阻抗进行实时分析,让您能够快速识别并显著降低过程变异性。可选的虚拟前面板软件可通过用户的计算机进行监测和控制。 - 数字架构,具有增强的调谐算法 - 脉冲射频功率传输 - 扫频操作 - 多频率应用的互调失真(IMD)抗扰度 - 实时过程功率和阻抗测量 - 加快调谐/匹配响应时间 - 加强工艺控制 - 有助于提高工具吞吐量和产品产量
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此为机器翻译文本。 (查看英文原文)
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Navigator Networks datasheet
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