射频等离子发生器 Paramount

以操作灵活性为新重点，推进您的工艺开发。Paramount® HF 射频发生器功率范围宽，支持多种集成方案，配备标准串行/模拟接口和其他可选通信接口。Paramount HF 实现了高纵横比器件所需的高等离子密度和离子能量，并加快了下一节点半导体加工工具的工艺流程。派拉蒙平台的数字架构可提供精确的功率管理，并简化新功能的集成--无需前置时间或硬件变更。通过对等离子体变化的实时检测，实现了高功率输出和可重复的性能。内部保护限值有助于可靠运行。 - 全数字控制 - 频率调整、脉冲和脉冲同步 - 实时功率和阻抗测量 - 电弧管理 - 相位同步（CEX） - 提高等离子稳定性和工艺可重复性 - 精确控制射频功率 - 快速响应等离子体变化 - 轻松满足特定应用需求