射频等离子发生器 Apex RF

多功能 Apex® 射频发生器和功率传输系统系列采用适合腔室安装的紧凑型模块化设计。利用先进的射频转换技术，Apex 射频发生器和功率传输系统提高了产品和工艺的可靠性。高密度功率能力使其成为先进等离子工艺的理想选择。各种通信模型和可配置功能使您能够定制您的平台并探索集成方法。无需定制发生器的交付周期。 - 流线型设计中的高功率密度 - 板载腔体安装、工具框架安装、机架安装和鞋盒选项 - 宽带控制回路 - 可选脉冲控制 - 高速电弧管理 - 可随时集成工艺工具，提高灵活性 - 稳定等离子操作 - 通过快速电弧管理提高产量 - 可根据工艺要求轻松定制和配置