适用于-100 至 330ºC
高级能源的 Luxtron 四通道 m924 和双通道 m922 半导体模块的光纤温度传感设计用于对静电夹头、腔室和其他器件进行蚀刻和晶圆制造厂设备温度监测。
• 组件混合匹配
• 与当前的半导体 Luxtron 品牌荧光探头和光纤扩展器
配合使用 • 内置校准表可与定制 AE 探头进行高精
度测量 • 可实现高达 ±0.05°C 的精度(取决于探头)
概述
完整的 Luxtron®m920 系列 OEM 解决方案采用电子模块组件,配有两块板和探头。 主板包含光纤温度传感通道、数字输出(RS232 ASCII 和 RS485 Modbus)和电源连接。 模拟输出板提供 0 至 10 V 或 4 至 20 mA 输出,并安装在主板上方。 还提供一个可选的金属外壳。
m920 系列系统采用氟光技术。 m920 系列主板对来自荧光探头的测量信号进行调节,并向 OEM 控制系统报告校准温度。 优势
• 针对不同的蚀刻和晶圆制造工艺实现高精度和高温度范围
• 通过快速采样率监控更快的坡道条件
• 利用这种低噪声解决方案获得更好的温度测量
• 利用高可靠性实现低故障率
•接收支持在全球范围内支持定制集成和探头设计
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