光学高温计 Sekidenko OR400M

数字固定紧凑型

具有可选/固定发射率的单通道温度测量能力 Sokidenko OR400M 提供了对需要较长波长的半导体应用至关重要的精确温度测量。 • 基于材料类型和所需温度范围的可配置波长 • 集成光学传感器 • 模拟和数字通信，可选的闭环控制现场总线协议 概述 A dvanced Energy 的 OR400M 光学高温计扩展了 Sekidenko 的灵活性产品系列在中红外波长范围内，从 3.3 微米到 5.2 微米。 OR400M 为薄膜太阳能、玻璃和先进半导体工艺提供单通道温度测量功能。 OR400M 支持 RS-232 和模拟数据接口。 由于其紧凑的设计，OR400M 可以轻松满足许多工艺应用的小占地面积要求。 优势 • 提高关键工艺的温度测量精度 • 提高可重复性并最大限度地减少变化 • 提高生产率、产量和吞吐量 • 提高多腔室和基材材料的稳定性和可靠性 特点 • 非接触性采用透镜光学传感器的温度测量 • 自动环境热校正 • 行业领先的温度和读取速率 • 高度灵活、基于模块的平台架构 • 全 I/O 和外部触发器/同步套件