满足半导体、太阳能和LED工厂的设备供应商的需求。TALYS是一种最先进的分析仪,非常适合用于实时监测湿法蚀刻、清洗和去除PR的槽。
TALYS- ASP300系列代表了半导体行业最新一代的工艺分析器。它为半导体、LED和太阳能电池制造提供了卓越的性能,其成本适合当今紧缩的预算。
TALYS ASP300系列的高性能结果使设备操作人员和工程师能够减少化学品的使用,同时通过实时的浴槽成分预测将偏离事件降到最低。
操作简单,不需要分析专家,可全天候运行,数据显示在工具显示器上。
无试剂操作降低了拥有成本
低成本解决方案满足现有预算
无湿部件取样,无需修改管道,确保污染控制。
灵活性使分析仪的电子配置文件可以通过电子邮件上传,以实现额外的浴液监测程序。
在一个采样点可以监测多种浴液化学成分,减少所需的分析仪数量。
TALYS完全集成在一个机箱内,占地面积最小。TALYS通过Modbus TCIP直接与工具通信,通过光纤接口远程连接到样品点,样品池直接夹在现有的PTFE管中,不需要外部PC,可以上架安装或壁挂安装。TALYS的安装非常简单,可以在一天之内完成。
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