热质量流量调节器 AFC series

用于气体精准不锈钢

刚性金属结构 泄漏完整性 1 x 10-9 smL/sec 的氦气 精确度为 ±1% 满刻度 累加器选项 电路保护 说明 AFC 型模拟质量流量控制器用于指示流量和控制气体的设定流量。 每台控制器都配有先进的直管传感器和不锈钢流道元件。指令模块的 LED 读数提供 0% 至 100% 的校准。可从变送器外部方便地进行零点和量程调整。 工作原理 计量气体分为两条层流路径，一条通过主导流管，另一条通过毛细传感器管。两个导流管的设计都是为了确保层流，因此它们的流速比是恒定的。 传感器管上的两个精密温度感应绕组被加热，当发生流动时，气体将热量从上游绕组带到下游绕组。由此产生的温差与传感器绕组的电阻变化成正比。 惠斯通电桥设计用于监测传感器绕组上与温度有关的电阻梯度，该梯度与瞬时流速成线性比例。 在 AFC 质量流量控制器中，组合气流流经带有适当选择孔口的配比电磁阀。闭环控制电路持续监控质量流量输出，并将其保持在设定流量。 在规定的限制范围内，流量不受温度和压力变化的影响。