热质量流量调节器 DFC

用于气体数码模拟

被测气体分成两个层流区，一个通过主流量管道，另一个通过毛细管。独特的设计确保两个管路里的流体都是层流状态，因此两个管路的流量比是恒定的。工作时，毛细管上两个精确的温度感应绕组被加热，当有流量时，被加热的气体从上游到下游流动，在两个感应绕组之间产生了温差，温差与电阻的变化成比例关系。 用惠斯顿电桥来测量温度感应绕组的温度变化差值。惠斯顿电桥的输出通过ADC(模数转换)转换成12位的数字信号。 微处理器和非易失性存储器存储了所有的标定数据，直接控制操作比例电磁阀。这个数字闭环控制系统不断的比较当前的流量值与设定值，如果与设定值偏离，通过调整阀门进行修正，PID算法运算实现高精确度的控制。根据被测气体的流量大小输出0…5VDC或者4…20mA信号。