激光干涉仪 PhaseCam 4000MW

动力多波

PhaseCam 4000兆瓦动态激光干涉仪为排列和逐步采用多个镜子望远镜系统的下一代设计。 PhaseCam兆瓦使用多个波长测量大步，与1000年x 1000消色阶段传感器能够测量特点10 mm深。 快速多挥动承购仅仅30微秒甚而在振动和空气动荡面前允许测量。 PhaseCam兆瓦的公共事业延伸到振动禁止使用常规激光干涉仪的应用，例如轴向程序控制。 其他应用例如测量相对掀动和高度MEMS结构受益于PhaseCam兆瓦的大力学范围。