TZZEK Tochnology高精度测量系统

- TZTEK10，1三倍率镜头 - 最高测量糈度0，7gm，最大视野82×55m - 采用双远心镜头，全视野无畸变 - 可加装光谱测头、同轴光、辅助环形光源、手柄等 - 自动图像配准功能，一键定位，无需专用定位夹具 - 精准闪测，效率提升可达20倍 - 可对工件多任务并行检测，极大提高测量效率 - 配置了丰富的外部接囗，可以定制集成到生产线，实现快速 - 在线检测

- 双光学系统配置兼顾测量精度和测量效率 - 满足特定行业的不同尺寸不同公差的测量需求 - 双镜头测量数据可互相融合 - 0，1µm Renishaw光栅尺，精度高、稳定性好 - 三轴高精密直线导轨 - ...

... × - 可程控式6环8区环形落射光源，LED轮廓光源 - 可飞拍测量，效率提高5一10倍 - 配置稳定的花岗岩主体结构，THK精密直线导轨、Renishaw高精度光栅尺 - 可快速自动对焦，大幅提升测量效率 0，1 - 配置可移动手柄方便测量任务编制及机台操作 - 大行程移动桥龙门结构，测量工件静音，高效安全 - ...

... 高分辨率自动变倍镜头 - 可程控式6环8区环形落射光源，LED轮廓光源，同轴光源 - 2秒内镜头快速自动聚隹大幅度提升了测量效率 - 配置稳定的花岗岩主体结构，三轴THK精密直线导轨、0，1 µm Renishaw高精度光栅尺 - 可飞拍测量，效率提高5一10倍 - 智能提取功能，快速捕获被测特征 - 配置手柄方便测量任务编制及机台操作 - ...

... TZTEK83：1自动变倍镜头 - 可程控式6环8区环形落射光源，LED轮廓光源 - 可快速自动对隹提升测量效率 - 精密全自动测量，4轴CNC伺服控制系统(x、Y、z、Zoom) - 可加装光谱、接触式测头、可升降落射光源、同轴光、手 柄、导航镜头、大靶面变倍镜头等 - 三轴精密直线导轨 - 0.5 µm光栅尺，精度高、稳定性好 - ...

... 灵活性的人工变倍，高性能的软硬件配置， 可满足各种检测需求。 - TZTEK65：1电子卡位镜头 - 程控式6环8区环形落射光源，LED轮廓光源 - 自动对焦测高 - 花岗岩主体结构，精度高、稳定性好 - 三轴精密直线导轨 - 1.0µm工业级光栅尺，精度高、稳定性好 - 3轴CNC伺服控制系统(x、Y、z) - 可加装光谱、接触式测头、同轴光等

... TZTEK6．5：1电子卡位镜头 - 镜头为电子卡位，软件自动识别，轻松实现倍率切换 - z轴自动，可实现自动聚焦、测高、升降 - 程控式环形落射光源，LED轮廓光源 - 自动聚焦、自动打光、自动寻边 - 花岗岩主体结构，精度高、稳定性好 - 三轴精密交叉滚子导轨，保证机器精度及使用寿命 - 可加装接触式测头、同轴光等

... 套刻误差定义为两层之间的偏移。套刻误差测量通常是指对两层不同材料的不同套刻标记，通过图像、算法处理获得两层之间偏移值的过程。 针对测量套刻误差，天准半导体测量设备支持测量Box-in-Box, Frame-in-Frame, L-Bars, Circle-in-Circle, Cross-in-Cross 或定制开发其他的结构。 光学测量是一种非接離式、非破坏性的测量技术，精确且快速，可通过CCD图像提取结构强度信思来计算宽度。强度图必须要进行额外处理，以使其免受噪声或变形的干扰。 天准半导体测量设备己具备消除这类干扰的功能 ...

天准为掩模生产过程中的测量提供高精度、高重复性系统，适用产品包括但不限于COG和PSM。 针对掩模来料测量，天准提供长距离工作物镜。测量包括掩模版上CD的分布，同时系统提供可见光和紫外光照明，均可用于反射和透射模式。紫外光照明可用于测量最小300m的特征尺寸，3sigma 重复性通常在纳米范围内。 主要特点 •MaskCD •最大支持14寸掩模以及定制形状 •可配置可见光、紫外光，支持穿透和反射光 •SECS/GEM •长期维护成本低，喼定可靠

天准为掩模生产过程中的测量提供高精度、高重复性系统，适用产品包括但不限于COG和PSM。 针对掩模来料测量，天准提供长距离工作物镜。测量包括掩模版上CD的分布，同时系统提供可见光和紫外光照明，均可用于反射和透射模式。紫外光照明可用于测量最小300m的特征尺寸，3sigma 重复性通常在纳米范围内。 主要特点 •MaskCD测 •最大支持6寸掩模 •可配置可见光、紫外光，支持穿透和反射光 •SECS/GEM •长期维护成本低，喼定可靠