TZZEK Tochnology非接触型测量系统

... 可程控式6环8区环形落射光源，LED轮廓光源，同轴光源 - 2秒内镜头快速自动聚隹大幅度提升了测量效率 - 配置稳定的花岗岩主体结构，三轴THK精密直线导轨、0，1 µm Renishaw高精度光栅尺 - 可飞拍测量，效率提高5一10倍 - 智能提取功能，快速捕获被测特征 - 配置手柄方便测量任务编制及机台操作 - 精密全自动测量，4轴CNC伺服控制系统(X、Y、Z、Zoom) - ...

... TZTEK65：1电子卡位镜头 - 程控式6环8区环形落射光源，LED轮廓光源 - 自动对焦测高 - 花岗岩主体结构，精度高、稳定性好 - 三轴精密直线导轨 - 1.0µm工业级光栅尺，精度高、稳定性好 - 3轴CNC伺服控制系统(x、Y、z) - 可加装光谱、接触式测头、同轴光等

... 软件自动识别，轻松实现倍率切换 - z轴自动，可实现自动聚焦、测高、升降 - 程控式环形落射光源，LED轮廓光源 - 自动聚焦、自动打光、自动寻边 - 花岗岩主体结构，精度高、稳定性好 - 三轴精密交叉滚子导轨，保证机器精度及使用寿命 - 可加装接触式测头、同轴光等

... 套刻误差定义为两层之间的偏移。套刻误差测量通常是指对两层不同材料的不同套刻标记，通过图像、算法处理获得两层之间偏移值的过程。 针对测量套刻误差，天准半导体测量设备支持测量Box-in-Box, Frame-in-Frame, L-Bars, Circle-in-Circle, Cross-in-Cross 或定制开发其他的结构。 光学测量是一种非接離式、非破坏性的测量技术，精确且快速，可通过CCD图像提取结构强度信思来计算宽度。强度图必须要进行额外处理，以使其免受噪声或变形的干扰。 天准半导体测量设备己具备消除这类干扰的功能 ...

... 套刻误差定义为两层之间的偏移。套刻误差测量通常是指对两层不同材料的不同套刻标记，通过图像、算法处理获得两层之间偏移值的过程。 针对测量套刻误差，天准半导体测量设备支持测量Box-in-Box, Frame-in-Frame, L-Bars, Circle-in-Circle, Cross-in-Cross 或定制开发其他的结构。 光学测量是一种非接離式、非破坏性的测量技术，精确且快速，可通过CCD图像提取结构强度信思来计算宽度。强度图必须要进行额外处理，以使其免受噪声或变形的干扰。 天准半导体测量设备己具备消除这类干扰的功能 ...

... 套刻误差定义为两层之间的偏移。套刻误差测量通常是指对两层不同材料的不同套刻标记，通过图像、算法处理获得两层之间偏移值的过程。 针对测量套刻误差，天准半导体测量设备支持测量Box-in-Box, Frame-in-Frame, L-Bars, Circle-in-Circle, Cross-in-Cross 或定制开发其他的结构。 光学测量是一种非接離式、非破坏性的测量技术，精确且快速，可通过CCD图像提取结构强度信思来计算宽度。强度图必须要进行额外处理，以使其免受噪声或变形的干扰。 天准半导体测量设备己具备消除这类干扰的功能 ...