TZZEK Tochnology测量系统

- TZTEK10，1三倍率镜头 - 最高测量糈度0，7gm，最大视野82×55m - 采用双远心镜头，全视野无畸变 - 可加装光谱测头、同轴光、辅助环形光源、手柄等 - 自动图像配准功能，一键定位，无需专用定位夹具 - 精准闪测，效率提升可达20倍 - 可对工件多任务并行检测，极大提高测量效率 - 配置了丰富的外部接囗，可以定制集成到生产线，实现快速 - 在线检测

- 双光学系统配置兼顾测量精度和测量效率 - 满足特定行业的不同尺寸不同公差的测量需求 - 双镜头测量数据可互相融合 - 0，1µm Renishaw光栅尺，精度高、稳定性好 - 三轴高精密直线导轨 - 花岗岩主体结构，精度高、稳定性好 - 可加装光谱测头满足高度测量需求

... × - 可程控式6环8区环形落射光源，LED轮廓光源 - 可飞拍测量，效率提高5一10倍 - 配置稳定的花岗岩主体结构，THK精密直线导轨、Renishaw高精度光栅尺 - 可快速自动对焦，大幅提升测量效率 0，1 - 配置可移动手柄方便测量任务编制及机台操作 - 大行程移动桥龙门结构，测量工件静音，高效安全 - X、Y轴直线电机驱动，加速度可达1000m/s2，稳定高效 - ...

... 高分辨率自动变倍镜头 - 可程控式6环8区环形落射光源，LED轮廓光源，同轴光源 - 2秒内镜头快速自动聚隹大幅度提升了测量效率 - 配置稳定的花岗岩主体结构，三轴THK精密直线导轨、0，1 µm Renishaw高精度光栅尺 - 可飞拍测量，效率提高5一10倍 - 智能提取功能，快速捕获被测特征 - 配置手柄方便测量任务编制及机台操作 - 精密全自动测量，4轴CNC伺服控制系统(X、Y、Z、Zoom) - ...

VMC是天准融合创新设计理念且具有优越性价比的经典影 像仪，是现代制造业的理想选择。 - TZTEK83：1自动变倍镜头 - 可程控式6环8区环形落射光源，LED轮廓光源 - 可快速自动对隹提升测量效率 - 精密全自动测量，4轴CNC伺服控制系统(x、Y、z、Zoom) - 可加装光谱、接触式测头、可升降落射光源、同轴光、手 柄、导航镜头、大靶面变倍镜头等 - ...

... - TZTEK65：1电子卡位镜头 - 程控式6环8区环形落射光源，LED轮廓光源 - 自动对焦测高 - 花岗岩主体结构，精度高、稳定性好 - 三轴精密直线导轨 - 1.0µm工业级光栅尺，精度高、稳定性好 - 3轴CNC伺服控制系统(x、Y、z) - 可加装光谱、接触式测头、同轴光等

VMA半自动影像仪简单易用且具有报表输出功能，可测点、 线、圆等元素，适用于种类多、小批量的产品检测。 - TZTEK6．5：1电子卡位镜头 - 镜头为电子卡位，软件自动识别，轻松实现倍率切换 - z轴自动，可实现自动聚焦、测高、升降 - 程控式环形落射光源，LED轮廓光源 - 自动聚焦、自动打光、自动寻边 - 花岗岩主体结构，精度高、稳定性好 - 三轴精密交叉滚子导轨，保证机器精度及使用寿命 - 可加装接触式测头、同轴光等

... 套刻误差定义为两层之间的偏移。套刻误差测量通常是指对两层不同材料的不同套刻标记，通过图像、算法处理获得两层之间偏移值的过程。 针对测量套刻误差，天准半导体测量设备支持测量Box-in-Box, Frame-in-Frame, L-Bars, Circle-in-Circle, Cross-in-Cross 或定制开发其他的结构。 光学测量是一种非接離式、非破坏性的测量技术，精确且快速，可通过CCD图像提取结构强度信思来计算宽度。强度图必须要进行额外处理，以使其免受噪声或变形的干扰。 天准半导体测量设备己具备消除这类干扰的功能 ...

... 套刻误差定义为两层之间的偏移。套刻误差测量通常是指对两层不同材料的不同套刻标记，通过图像、算法处理获得两层之间偏移值的过程。 针对测量套刻误差，天准半导体测量设备支持测量Box-in-Box, Frame-in-Frame, L-Bars, Circle-in-Circle, Cross-in-Cross 或定制开发其他的结构。 光学测量是一种非接離式、非破坏性的测量技术，精确且快速，可通过CCD图像提取结构强度信思来计算宽度。强度图必须要进行额外处理，以使其免受噪声或变形的干扰。 天准半导体测量设备己具备消除这类干扰的功能 ...

... 套刻误差定义为两层之间的偏移。套刻误差测量通常是指对两层不同材料的不同套刻标记，通过图像、算法处理获得两层之间偏移值的过程。 针对测量套刻误差，天准半导体测量设备支持测量Box-in-Box, Frame-in-Frame, L-Bars, Circle-in-Circle, Cross-in-Cross 或定制开发其他的结构。 光学测量是一种非接離式、非破坏性的测量技术，精确且快速，可通过CCD图像提取结构强度信思来计算宽度。强度图必须要进行额外处理，以使其免受噪声或变形的干扰。 天准半导体测量设备己具备消除这类干扰的功能 ...