Steinmeyer型材轨道用定位系统

重复精度: 1 µm
载荷: 15 kg
运行行程: 200 mm - 1,000 mm

... - 100 (Z) - 最大载荷负载：150 N (Z) - 驱动器：直线电机，型材导轨（XY）/滚珠丝杠，交流伺服（Z）。 - 反馈：线性刻度 - 运动控制器：FMC系列，ACS，PLC集成 定制的选项： - 过程适应性，样品架，头/传感器 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。 - 机架、振动隔离、外壳、安全概念 - 扩展XYZ-Rx-Ry-Rz运动的自由度 - 通过三维设计为定位任务寻找个性化解决方案 ...

重复精度: 0.3 µm - 2.5 µm
载荷: 5 kg - 20 kg
运行行程: 100 mm - 720 mm

... 用于半导体的XYZ双检测门户 可定制的 - 是自动检测晶圆/半导体的理想选择 - 非常大的移动范围，每个都是2 x 720 x 720 x 100 mm - 允许同时整合两个过程 该检测系统由四个洁净室轴组成，可同时对多个物体进行自动测量。实现了高动态性和最高的可重复性。每侧有一个高分辨率的相机或传感器相对于样品移动，以检查几何形状，进行测量并记录特殊的质量特征。 规格 - 行程：2 x 720 x 720 x 100 mm - ...

重复精度: 0.4 µm - 0.5 µm
运行行程: 100 mm - 700 mm
传送速度: 470 mm/s - 2,000 mm/s

... XYZ 多轴龙门系统 可定制 - 集成在线质量控制、高速拾放任务和组合应用的理想之选 - 十字头上有三个可自由配置的轴，适用于所有高架应用 - 行程为 500 x 700 x 100 毫米，可扩展至 1000 毫米，因此产量高 - 出色的高重复精度，可达 0.4 µm - 龙门轴和十字头之间无耦合，便于通过电机编码器进行控制，避免了过确定性 这种适用于高架应用的多功能龙门可在 PLT 系列标准平台的基础上自由配置轴数、尺寸和驱动装置。三个或更多客户定制的加工头、照相机、传感器等可与增强型横移装置相匹配 ...

重复精度: 0.7 µm - 1 µm
载荷: max 15.0 kg
运行行程: 200 mm - 1,300 mm

... 1300 x 200 毫米的超大行程范围 - 高精度定位，重复精度高达 0.8 微米，质量可靠稳定 - 集成式直线电机保证了高加速度和高速度，同时具有高精度 该龙门可在 1300 x 800 mm 的区域内实现高动态运动。Z 轴上的定制加工头或传感器在花岗岩上的载体上快速、连续地移动。异形导轨直接安装在花岗岩上，可提供最佳的运行特性，从而获得重复性极高的亚微米级结果。龙门式设计可轻松集成到循环生产线中，并可对多个此类入口进行排线。 规格 - ...

重复精度: 0.3 µm - 0.5 µm
传送速度: 1,210 mm/s - 1,630 mm/s

... 微米的超精细分辨率 - 可加工高达 3100 N 的高负荷 - 加速度高达 5G，速度超过 120 米/分钟 - 通过空气轴承技术实现全天候无磨损工业运行 该空气轴承 XY 定位系统专为大型和重型面板的激光加工而设计。Z 轴上的定制激光在材料上快速移动。由于行程大，可达 600 毫米，并可选配扩展至 2500 毫米，因此可实现高产量。 规格 - 标准系统：LA340-edlm ...

重复精度: 0.001 µm - 4.4 µm
运行行程: 1.5 mm - 100 mm
传送速度: 0.4 mm/s - 1,400 mm/s

... 理想的切向扫描，提供多种调节选项 - 校正倾斜和横向偏移达 0.5 µm - 光束线孔径为 45 毫米 - 气浮旋转平台，精度可达 0.0005° 该定位系统可在 6 个自由度内进行切向扫描，具有极高的重复性。样品支架可调节焦距、角度和距离，位于带孔径的 XYZ phi 三角形对准器上，可在 4 个轴上校正倾斜和横向偏移。 规格 - 标准系统：DT250 (Rz) ...

重复精度: 1.9 µm - 4.4 µm
载荷: 50 kg
运行行程: 100 mm - 1,000 mm

... 次全循环的维护间隔（每两年一次 该定位系统可在 1000 x 1000 mm 的范围内移动真空吸盘。标准系统 PMT160-SM 固定在横向轴上，用于客户定制的传感器，该传感器用于焦距变化。轴是全封闭的，可防止污染和干扰。 规格 - 标准系统：PLT320-SM（XY）/PMT160-SM（Z） - 行程：1000 毫米（XY）/ ...

重复精度: 0.8 µm - 4 µm
载荷: 1 kg
运行行程: 25 mm - 25 mm

... MP63-3 微型 XYZ 定位系统，笛卡尔式 可定制： - 极高的分辨率 - 适用于有限的建筑空间 - 负载能力高达 10 N - 通过细螺纹主轴实现更精细的应用调整 - 使用寿命长，通过仿形导轨轴承实现特别精确的运动 这种微型 X-Y-Z 系统非常适合空间有限的定位应用。与细螺纹主轴相结合，XYZ Stage 可实现极高的分辨率值。同时，这种高精度定位系统还具有极高的性价比。 规格 - ...