Steinmeyer门式定位系统

重复精度: 1 µm
载荷: 15 kg
运行行程: 200 mm - 1,000 mm

... FMC系列，ACS，PLC集成 定制的选项： - 过程适应性，样品架，头/传感器 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。 - 机架、振动隔离、外壳、安全概念 - 扩展XYZ-Rx-Ry-Rz运动的自由度 - 通过三维设计为定位任务寻找个性化解决方案 ...

重复精度: 0.3 µm - 2.5 µm
载荷: 5 kg - 20 kg
运行行程: 100 mm - 720 mm

... 用于半导体的XYZ双检测门户 可定制的 - 是自动检测晶圆/半导体的理想选择 - 非常大的移动范围，每个都是2 x 720 x 720 x 100 mm - 允许同时整合两个过程 该检测系统由四个洁净室轴组成，可同时对多个物体进行自动测量。实现了高动态性和最高的可重复性。每侧有一个高分辨率的相机或传感器相对于样品移动，以检查几何形状，进行测量并记录特殊的质量特征。 规格 - 行程：2 x 720 x 720 x 100 mm - ...

重复精度: 0.005 µm - 4.4 µm
载荷: 5 kg - 25 kg
运行行程: 100 mm - 365 mm

... 8轴定位系统/测角仪 可定制的 - 从不同的角度进行自动的8轴检查 - 同轴旋转系统，使摄像机/传感器/照明围绕一个共同的中心点旋转 - 是检测显示器的理想选择 这个8轴定位系统能够分析和检查不同的样品几何形状和其他部件。两个摄像头/传感器都可以在样品上倾斜并调整高度。此外，样品载体可以平行于测量面倾斜，以补偿各个样品之间的差异。XY ...

重复精度: 0.3 µm - 0.5 µm
传送速度: 1,210 mm/s - 1,630 mm/s

... 微米的超精细分辨率 - 可加工高达 3100 N 的高负荷 - 加速度高达 5G，速度超过 120 米/分钟 - 通过空气轴承技术实现全天候无磨损工业运行 该空气轴承 XY 定位系统专为大型和重型面板的激光加工而设计。Z 轴上的定制激光在材料上快速移动。由于行程大，可达 600 毫米，并可选配扩展至 2500 毫米，因此可实现高产量。 规格 - 标准系统：LA340-edlm ...

重复精度: 0.01 µm - 2.5 µm
传送速度: 5 mm/s - 35 mm/s

... 微米范围内的稳定性带来超精细的细节成像和更高的变焦水平 - 循环时间短，速度高达 35 毫米/秒 - 结果重复性极高，可达 2.5 µm，旋转运动精度可达 0.02° - 采用长期可靠的标准轴，维护成本低，使用寿命超长 这种 9 轴定位系统可以在显微镜或高分辨率相机下从所有可能的角度观察样品，例如注射喷嘴、支架、小型切割工具、插管和其他旋转对称部件。该系统由 KLT310 ...

重复精度: 0.3 µm - 2.5 µm
传送速度: 150 mm/s - 1,500 mm/s

... 同时检测，行程可达 720 毫米 - 速度可达 150 mm/s，加速度为 2 m/s2，缩短了循环时间 - 精确的测量结果和巨大的质量改进，重复精度可达 1 µm - 花岗岩结构可快速更换系统，实现全天候低维护运行和灵活的维护理念 该检测系统（此处所示为无盖）专为自动化质量保证而设计。定位系统可沿两个线性轴定位。高分辨率相机或传感器相对于样品移动，以检测几何形状、执行测量并记录特殊质量特征。 规格 - ...

重复精度: 0.3 µm - 2.5 µm
传送速度: 150 mm/s - 750 mm/s

... 可定制： - 晶片、探针卡和印刷电路板自动检测的理想之选 - 通过长达 720 毫米的行程同时检测多个物体 - 同时整合两个过程的理想选择 - 花岗岩结构可快速更换系统，因此可实现全天候低维护运行和灵活的维护理念 该检测系统由四个洁净室轴组成，可同时对多个物体进行自动测量。可实现高动态和最高的再现性。高分辨率相机或传感器相对于样品移动，以检测几何形状、执行测量并记录特殊质量特征。 规格 - 标准配置：pmt290-edlm ...

重复精度: 3.9 µm - 4.4 µm
传送速度: 5 mm/s

... 毫米的大型样品进行表面检测和涂层厚度测量的理想之选 - 精确测量，重复精度高达 2 微米 - 采用步进电机驱动，性价比高 - 坚固耐用的 Z 轴，适用于重达 20 公斤的传感器 - 适用于灰尘、烟雾等工业环境 该检测系统专为 50 公斤以下大型扁平试样的自动质量控制而设计。该定位系统占地面积非常小，可同时在 Z 轴上定位传感器和 ...

重复精度: 0.001 µm - 4.4 µm
运行行程: 1.5 mm - 100 mm
传送速度: 0.4 mm/s - 1,400 mm/s

... 理想的切向扫描，提供多种调节选项 - 校正倾斜和横向偏移达 0.5 µm - 光束线孔径为 45 毫米 - 气浮旋转平台，精度可达 0.0005° 该定位系统可在 6 个自由度内进行切向扫描，具有极高的重复性。样品支架可调节焦距、角度和距离，位于带孔径的 XYZ phi 三角形对准器上，可在 4 个轴上校正倾斜和横向偏移。 规格 - 标准系统：DT250 (Rz) ...

重复精度: 1.9 µm - 4.4 µm
载荷: 50 kg
运行行程: 100 mm - 1,000 mm

... 带真空吸盘的 XXL XYZ 传送门 可定制： - 适用于焦点变化的自动化表面检测 - 设计用于重量达 50 公斤的样品（不包括真空平台） - 被动减震和建筑振动去耦合（标准测量室质量等级 3，符合 VDI 2627 标准） - 超长使用寿命（1,000,000 次全循环和 500,000 次全循环的维护间隔（每两年一次 该定位系统可在 1000 x 1000 ...