Steinmeyer精准定位系统

重复精度: 1 µm
载荷: 15 kg
运行行程: 200 mm - 1,000 mm

... FMC系列，ACS，PLC集成 定制的选项： - 过程适应性，样品架，头/传感器 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。 - 机架、振动隔离、外壳、安全概念 - 扩展XYZ-Rx-Ry-Rz运动的自由度 - 通过三维设计为定位任务寻找个性化解决方案 ...

重复精度: 0.3 µm - 2.5 µm
载荷: 5 kg - 20 kg
运行行程: 100 mm - 720 mm

... 用于半导体的XYZ双检测门户 可定制的 - 是自动检测晶圆/半导体的理想选择 - 非常大的移动范围，每个都是2 x 720 x 720 x 100 mm - 允许同时整合两个过程 该检测系统由四个洁净室轴组成，可同时对多个物体进行自动测量。实现了高动态性和最高的可重复性。每侧有一个高分辨率的相机或传感器相对于样品移动，以检查几何形状，进行测量并记录特殊的质量特征。 规格 - 行程：2 x 720 x 720 x 100 mm - ...

重复精度: 0.005 µm - 4.4 µm
载荷: 5 kg - 25 kg
运行行程: 100 mm - 365 mm

... 8轴定位系统/测角仪 可定制的 - 从不同的角度进行自动的8轴检查 - 同轴旋转系统，使摄像机/传感器/照明围绕一个共同的中心点旋转 - 是检测显示器的理想选择 这个8轴定位系统能够分析和检查不同的样品几何形状和其他部件。两个摄像头/传感器都可以在样品上倾斜并调整高度。此外，样品载体可以平行于测量面倾斜，以补偿各个样品之间的差异。XY ...

重复精度: 0.4 µm - 0.5 µm
运行行程: 100 mm - 700 mm
传送速度: 470 mm/s - 2,000 mm/s

... XYZ 多轴龙门系统 可定制 - 集成在线质量控制、高速拾放任务和组合应用的理想之选 - 十字头上有三个可自由配置的轴，适用于所有高架应用 - 行程为 500 x 700 x 100 毫米，可扩展至 1000 毫米，因此产量高 - 出色的高重复精度，可达 0.4 µm - 龙门轴和十字头之间无耦合，便于通过电机编码器进行控制，避免了过确定性 这种适用于高架应用的多功能龙门可在 PLT 系列标准平台的基础上自由配置轴数、尺寸和驱动装置。三个或更多客户定制的加工头、照相机、传感器等可与增强型横移装置相匹配 ...

重复精度: 0.2 µm - 2 µm
载荷: 15 kg
运行行程: 10 mm - 600 mm

... 毫米孔径的双面 Z 传感器定位器 - 减震设计，具有出色的加工值，重复性可达 1µm - 减少因空气承载样品架而产生的废气排放 - 出色的使用寿命和全天候免维护运行 该 XYZ 龙门定位系统可实现高精度的双边检测过程，每个检测过程可配备 2 个定制传感器/显微镜，用于不同的计量应用。第一个 Z 轴位于固定横梁上，第二个传感器/显微镜安装在光圈下方的 Z 轴上。气浮样品架将样品沿 ...

重复精度: 0.3 µm - 0.5 µm
传送速度: 1,210 mm/s - 1,630 mm/s

... 微米的超精细分辨率 - 可加工高达 3100 N 的高负荷 - 加速度高达 5G，速度超过 120 米/分钟 - 通过空气轴承技术实现全天候无磨损工业运行 该空气轴承 XY 定位系统专为大型和重型面板的激光加工而设计。Z 轴上的定制激光在材料上快速移动。由于行程大，可达 600 毫米，并可选配扩展至 2500 毫米，因此可实现高产量。 规格 - 标准系统：LA340-edlm ...

重复精度: 0.3 µm - 2.5 µm
传送速度: 150 mm/s - 750 mm/s

... 可定制： - 晶片、探针卡和印刷电路板自动检测的理想之选 - 通过长达 720 毫米的行程同时检测多个物体 - 同时整合两个过程的理想选择 - 花岗岩结构可快速更换系统，因此可实现全天候低维护运行和灵活的维护理念 该检测系统由四个洁净室轴组成，可同时对多个物体进行自动测量。可实现高动态和最高的再现性。高分辨率相机或传感器相对于样品移动，以检测几何形状、执行测量并记录特殊质量特征。 规格 - 标准配置：pmt290-edlm ...

重复精度: 3.9 µm - 4.4 µm
传送速度: 5 mm/s

... 毫米的大型样品进行表面检测和涂层厚度测量的理想之选 - 精确测量，重复精度高达 2 微米 - 采用步进电机驱动，性价比高 - 坚固耐用的 Z 轴，适用于重达 20 公斤的传感器 - 适用于灰尘、烟雾等工业环境 该检测系统专为 50 公斤以下大型扁平试样的自动质量控制而设计。该定位系统占地面积非常小，可同时在 Z 轴上定位传感器和 ...

重复精度: 0.001 µm - 4.4 µm
运行行程: 1.5 mm - 100 mm
传送速度: 0.4 mm/s - 1,400 mm/s

... 理想的切向扫描，提供多种调节选项 - 校正倾斜和横向偏移达 0.5 µm - 光束线孔径为 45 毫米 - 气浮旋转平台，精度可达 0.0005° 该定位系统可在 6 个自由度内进行切向扫描，具有极高的重复性。样品支架可调节焦距、角度和距离，位于带孔径的 XYZ phi 三角形对准器上，可在 4 个轴上校正倾斜和横向偏移。 规格 - 标准系统：DT250 (Rz) ...

重复精度: 1.9 µm - 4.4 µm
载荷: 50 kg
运行行程: 100 mm - 1,000 mm

... 次全循环的维护间隔（每两年一次 该定位系统可在 1000 x 1000 mm 的范围内移动真空吸盘。标准系统 PMT160-SM 固定在横向轴上，用于客户定制的传感器，该传感器用于焦距变化。轴是全封闭的，可防止污染和干扰。 规格 - 标准系统：PLT320-SM（XY）/PMT160-SM（Z） - 行程：1000 毫米（XY）/ ...