SmarAct非接触式位移传感器

测量范围: 13 mm - 5,000 mm

... 带准直光束的传感器头，对长距离和逆反射目标进行了优化。 C03是一种为长距离工作和使用逆反射器作为目标而优化的传感器头类型。探头光束被放大，因此其发散性降低，在目标镜面反射后可以收集更多的光功率。 光束几何 - 准直的 光束腰部直径[µm] - 1590 角度工作范围 [ - ± 0.013 环境兼容性 - 空气、HV、UHV 典型目标 - 镜子，逆向反射器 机械性能 尺寸[mm] - 6 x 21 (Ø x L) ...

... 用于一般用途的紧凑型传感器头。 C04 是 PICOSCALE 干涉仪的新型标准传感器头，在大多数情况下可取代 C01。由于其准直输出光束和紧凑的外形，它适用于大多数常见应用。 传感器头 光束几何形状 - 准直 光束腰部直径 [µm] - 350 工作距离 [mm] - 13 ... 500 角度工作范围 [ - ± 0.075 环境兼容性 - 空气、HV、UHV 典型目标 ...

... 传感器头具有较高的角度公差，适合短距离移动。 F04 是世界上最好的组合。在提供大角度公差的同时，它还能用于跟踪多厘米的运动。 传感器头 光束几何 - 聚焦 焦距 [mm] - 70（可定制） 光束腰部直径 [µm] - 100 ** 工作距离 [mm] - 70 ± 10 ** 角度工作范围 [ - ± 0.75 ** 环境兼容性 - 空气、HV、UHV 典型目标 - 小样品、镜子 机械性能 尺寸 ...

测量范围: 10 mm

... 传感器头带有聚焦光束，对准误差小。 F01 是一种带聚焦探头光束的传感器测座。因此可以测量小目标的位移。此外，传感器头还具有较高的角度公差。 传感器头 光束几何形状 - 聚焦 焦距 [mm] - 10（可定制） 光束腰部直径 [µm] - 28 * 工作距离[毫米] - 10 ± 0.5 * 角度工作范围 ...

测量范围: 10 mm

... 带线状聚焦光束的传感器头，用于圆柱形目标。 L01是一个用于PICOSCALE干涉仪的传感器头。目标光束仅沿圆柱形透镜的一个轴线聚焦，从而产生一个线状焦点。这样，传感器头沿聚焦轴有一个相对大的角度工作范围，而沿正交轴有一个大直径。通常情况下，这些传感器头被用来测量旋转的圆柱形物体的偏心运动，并对其摆动，即旋转轴的尖端/倾斜不敏感。 光束几何 ...

测量范围: 13 mm - 650 mm

... 标准的 PICOSCALE C01 传感器头有一个分光镜端口未用于干涉仪。通常情况下，分光镜的这一部分会进行粗磨，以便用作校准视口（见示意图）。下面我们将这个视口称为 SmarAlign 窗口。 当 PICOSCALE 的先导激光束启动时，可见光可用于追踪目标镜面的传播路径以及反射回传感器头的路径。如果反射光束击中传感器头，就会在 SmarAlign 窗口中看到两个光点。通过微调传感器头的尖端/倾斜角度，这两个光点可以重叠，这意味着两束光可以发生干涉。 ...