RoboTechnik Intelligent Technology Co Ltd生产自动化系统

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生产自动化系统
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ARK20

... 吞吐量: 20000-30000 破损率 0.01%@182; 0.02%@210 正常运行时间: ≥99 特点 可选吊船转运方案或 IGV 船转运方案 直线电机龙门框架设计,高速、稳定、可靠 可选配视觉花架缺件检测、石英艇碎片检测、石英艇定位 分段式整体焊接钢架,结构稳定可靠 支持 MES 接口和远程调试功能 智能 IGV 接口 智能设备、OEE 统计和能耗分析 兼容 M10、M12 和 220-230mm 晶圆,全尺寸和半尺寸晶圆 ...

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RTA-PE-4000-9000

... 吞吐量: 4000-9000 破损率 0.04%@182; 0.05%@210 正常运行时间:≥99 特点 可选配史陶比尔或发那科机械手插件 分段式整体焊接钢架,结构稳定可靠 可选可视翘曲检测和石墨舟定位 支持 MES 接口和远程调试功能 智能 IGV 接口 在线 AOI 和 PL 检测 智能设备、OEE 统计和能耗分析 兼容 M10、M12 和 220-230 毫米的全尺寸和半尺寸晶圆 ...

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RTA-PECVD-6000-16000

... 吞吐量:6000-16000 破损率:≤0.04%@166;0.04%@182;0.04%@210 正常运行时间:≥99 特性 可选择装卸分离或一体化布局 分段式整体焊接钢架,结构稳定可靠 可选自动除渣功能 支持 MES 接口和远程调试功能 智能 IGV 接口 智能设备、OEE 统计和能耗分析 兼容 M10、M12 和 220-230 毫米晶圆,全尺寸和半尺寸晶圆 ...

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RTA-PK-60-500

... 吞吐量:按需定制 破损率: ≤0.01%@210 正常运行时间:≥99 特点 分拣(离线分拣)送料→小盒包装 小盒塑封→分级区 包装→码垛机 材料:分拣后的纸箱、纸盒、成品仓库太阳能电池(FCL)、托盘(FCL) 智能 IGV 接口 智能设备、OEE 统计和能耗分析 兼容 M10、M12 和 220-230 毫米晶圆,全尺寸和半尺寸 ...

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RTA-PECVD-3500-24000

... 先进的传动系统确保批量生产的稳定性 花架自动切换、自动装载和卸载 设备生产能力大,占地面积小,生产能力为 2000-24000wph ...

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RTA-DF-23500

... 吞吐量: 23500 破损率 0.01%@182; 0.02%@210 正常运行时间:≥99 特点 可选龙门解决方案或 6 轴机器人解决方案 直线电机龙门框架设计,高速、稳定、可靠 可选视觉花架缺件检测、石英舟碎片检测、石英舟定位 分段式整体焊接钢架,结构稳定可靠 支持 MES 接口和远程调试功能 智能 IGV 接口 智能设备、OEE 统计和能耗分析 兼容 M10、M12 和 220-230mm 半径晶圆 ...

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RTA-WET-15000

... 吞吐量: 15000 片/小时 破损率M12 半片98 特点 HJT 高效太阳能电池的链式杂质吸收工艺,半片尺寸 适用于 MES 和 RFID 功能 智能设备、能耗统计和分析功能 ...

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