Precision STAGEZ轴位移台

运行行程: 10 mm
速度: 500, 50 mm/s
重复精度: 0.3 mm

... 与垂直安装的线性定位平台相比，垂直平台的悬臂载荷会导致支撑线性轴承发生偏移。 悬臂载荷会导致支撑线性轴承发生偏移。 通过音圈伺服电机实现高分辨率线性运动E-ABVT-Z 由音圈电机内部驱动，配备气浮传输导轨。 配有气浮传送导轨（也可使用十字球导轨），使用高分辨率光栅来闭合环路，并配备了气浮导轨（也可使用十字球导轨）。 并配备高性能驱动器，以确保定位台的最小位移和可重复性。 实现卓越性能。 计算机控制、软件、编程 ...

运行行程: 20, 200 mm
速度: 500, 30 mm/s
重复精度: 0.3 µm

... 与垂直安装的线性定位平台相比，垂直平台的悬臂载荷会导致支撑线性轴承发生偏移。 悬臂载荷会导致支撑线性轴承发生偏移。 通过音圈伺服电机实现高分辨率线性运动E-ABVT-Z 由音圈电机内部驱动，配备气浮传输导轨。 配有气浮传送导轨（也可使用十字球导轨），使用高分辨率光栅来闭合环路，并配备了气浮导轨（也可使用十字球导轨）。 并配备高性能驱动器，以确保定位台的最小位移和可重复性。 实现卓越性能。 计算机控制、软件、编程 ...

速度: 50, 100, 20, 300 mm/s
重复精度: 300, 20, 100, 2, 200 nm
载荷: 8, 10 kg

... iniSCAN 系列 MiniSCAN 系列是我公司近期推出的一款高精度桌面扫描系统。整机采用稳定性极佳的大理石底座，配备高精度 XY 轴和 Z 轴运动平台，并预留光路安装和照明。该机构可以非常快速地组合成满足客户要求的各种应用。目前，它在半导体晶片扫描、生物检测和干涉仪测量等高精度应用领域已有非常成功的应用案例。MiniSCAN 系列的主要特点 标准桌面级隔振系统 三轴可选高精度直线电机或高稳定性步进电机运动平台 ...

速度: 300 mm/s
重复精度: 150 nm
载荷: 25 kg

... 设计特点 专为高性能扫描和检测而设计 所有气浮轴承表面都有主动空气预紧功能 线性编码器反馈提供亚纳米分辨率 高刚度可承受重负荷，几何性能卓越 行程为 50 毫米和 100 毫米 整体平衡 高动态性能的空气轴承设计 E-LMT145-Z 在垂直和水平表面上都采用了气对气预载。相对的薄膜压力可保持轴承的公称间隙公差。这种设计，再加上大面积的空气轴承表面将载荷分布在较大的表面区域，使得平台具有出色的刚度，非常适合重载或偏置载荷。 专有的制造技术使平台具有无与伦比的几何特性，通过产生出色的俯仰 ...

速度: 200 mm/s
重复精度: 10 nm
载荷: 6 kg

... 设计特点 专为高性能扫描和检测而设计 所有空气轴承表面都有主动空气预紧力 线性编码器反馈提供亚纳米分辨率 高刚度可承受重负荷，几何性能卓越 行程为 50 毫米和 100 毫米 整体平衡 高动态性能的空气轴承设计 E-LMT145-Z 在垂直和水平表面上都采用了气对气预载。相对的薄膜压力可保持轴承公称间隙公差。这种设计，再加上大面积的空气轴承表面将载荷分散到较大的表面区域，使平台具有出色的刚度，非常适合重载或偏置载荷。 专有的制造技术使平台具有无与伦比的几何特性，通过产生出色的俯仰 ...

速度: 25 mm/s
重复精度: 1 µm
载荷: 6 kg

... 采用语音伺服电机实现高分辨率线性运动 E-SST160-Z50 由步进电机内部驱动，配备交叉滚珠导轨，使用高分辨率光栅闭环，并配备高性能驱动器，以确保定位平台的最小位移和可重复性。 E-SST160-Z50 Z 轴步进电机升降台2 (2) 计算机控制、软件、编程 可选择单轴和多轴高性能运动控制器来操作 ...

速度: 0 mm/s - 5 mm/s
重复精度: 0.1 µm
载荷: 0 kg - 25 kg

... E-TRI 系列 E-TRI-VM-R1 平动平台 简要说明： 使用增量式线性编码器进行高精度位置测量 非接触式直线光栅可直接在平台上测量位置，精度极高。非线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。 ...

速度: 2 m/s
重复精度: 100 nm - 350 nm
载荷: 20 kg

... 具有最高的性能、质量和使用寿命。 高力线性电机可在几毫秒内将平台驱动到最高速度，大容量轴承可支持重达 20 公斤的有效载荷。该型号采用横向对置、主动预载空气轴承设计，允许以任何方向安装。 编码器 过滤器和空气准备套件 单轴和多轴运动控制器 XY 设置和单独配置 电缆轨道变化 垂直（Z）方向的配重选项 可定制 花岗岩底板和减震系统 定位系统非常适合许多高精度应用，如计量学、光电子学以及半导体或平板显示器制造中的精密扫描。 由于无摩擦运动，不会产生颗粒，因此平台非常适合洁净室应用。 ...

... -提供同类最佳的旋转运动，帮助您优化高精度工艺 工艺 -最大限度地减少轴向、径向和倾斜运动误差，从而减少对零件和测量数据进行大量后 减少对零件和测量数据进行大量后处理的需要 -在不影响运动质量的情况下提供强大的承载能力 -结构紧凑、重量轻，易于集成到精密系统和机器中。 由于结构紧凑、重量轻，以及水平和垂直安装和承载能力，可轻松集成到精密系统和机器中 提供同类最佳的旋转运动，帮助您优化高精度工艺 将轴向、径向和倾斜运动误差降至最低，减少了对零件和测量数据进行大量后处理的需要 4R-NG ...

... 与洁净室兼容 运动平台直径从 100 毫米到 300 毫米不等 偏心率和平面度 < 100 nm 可垂直或水平安装 设计特点 提供一流的旋转运动，帮助您优化高精度工艺 将轴向、径向和倾斜运动误差降至最低，减少对零件和测量数据进行大量后处理的需要 在不影响运动质量的前提下提供强大的承载能力 由于结构紧凑、重量轻、具有水平和垂直安装及承载能力，因此可轻松集成到精密系统和机器中 主要应用 E-3R-NG 平台是高精度应用的理想选择，包括 表面计量，包括测量圆度、平面度和形状误差 ...