Precision STAGE直接传动位移台

运行行程: 100, 200 mm
速度: 500 m/s
重复精度: 0.3 µm

... 的直线光栅尺 交叉滚柱导轨 直线电机 直线电机是一种电磁直接驱动装置。它们省去了传动系统中的机械部件，直接将驱动力无摩擦地传递到运动平台。这种驱动装置可以达到很高的速度和加速度。无铁电机特别适用于对精度要求极高的定位任务，因为它不会与永久磁铁产生不良影响。因此，即使在最低速度时也能平稳运行，同时在高速时也不会产生振动。避免了控制行为的非线性，任何位置都能轻松控制。 利用增量式线性编码器进行高精度位置测量 非接触式光学编码器可直接在平台上测量位置，精度极高。非线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响 ...

速度: 0 mm/s - 100 mm/s
载荷: 0 kg - 60 kg

... E-ART160 空气轴承旋转平台 带空气轴承的旋转平台 简要说明： 与无尘室兼容 运动平台直径 180 毫米至 300 毫米 负载能力达 650N 偏心率和平面度 < 100 nm 可垂直或水平安装直驱气浮旋转平台 模拟和数字位置反馈 提供同类最佳的旋转运动，帮助您优化高精度工艺 将轴向、径向和倾斜运动误差降至最低，减少对零件和测量数据进行大量后处理的需要 通过高分辨率反馈提供出色的定位性能和速度稳定性 采用新颖的无影响电机设计，有助于实现超精密运动性能 ...

运行行程: 50 mm
速度: 100 m/s
重复精度: 0.2 µm

... 六轴六脚架三脚架结构装置 E-HEX-10.6.100.100-XXX 系列平行六自由度平台 简要说明： 特点高精度、可组装、可定制、光圈 460mm 结构紧凑、坚固耐用，可提供稳定可靠的运动精度 具有超精细的定位分辨率和足够的有效载荷能力，是需要复杂多自由度运动而可用空间有限的应用的理想之选。适用于半导体测试晶片的水平校准。光学检测、大中空孔径调整光路的应用场景。 ...

运行行程: 100, 200, 300 mm
速度: 500 m/s
重复精度: 0.3 µm

... ELMT-XY 系列直线电机平台采用十字滚柱导轨与直线电机相结合的方式，具有传统机械导轨无法比拟的大面积中空结构，直线度和平面度高，尤其适用于小步距或需要超精确定位的应用场景。是精密光学调试、安装和加工的绝佳应用选择。显微镜下运动性能极佳。直线导轨具有非常好的平面度和直线度 ● 采用铁芯直线电机，确保足够的系统刚性和动态性能 ● 使用安静平稳，噪音极低 ● 具有极高的精度性能 上一篇: E-LMT-XYZ（高精度一体化组合 XYZ 轴平台） 下一个HEX-S6.50.200 ...

... 用于将运动限制在单个旋转轴上，并精确控制该旋转轴的圆周位置。Dover Motion 提供一系列标准高精度旋转平台和旋转工作台，但我们的核心优势在于与客户合作，为其独特的应用配置合适的精密运动解决方案。 我们的旋转平台配备了刚...叉滚子轴承和精密蜗轮蜗杆传动装置，可确保出色的角度精度和重复性。 ...