Precision STAGE位移台

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直线伺服电机位移台
直线伺服电机位移台
LMT-XY series

运行行程: 100, 200 mm
速度: 500 m/s
重复精度: 0.3 µm

... E-LMT-XY (高精度直线电机平台) XY 线性电机运动平台 简要说明 移动范围 100 mm × 100 mm 或 200 mm × 200 mm 单向重复精度达 0.3 µm 无铁三相直线电机 速度增量至 500 mm/s 分辨率为 4.88 nm 的直线光栅尺 交叉滚柱导轨 直线电机 直线电机是一种电磁直接驱动装置。它们省去了传动系统中的机械部件,直接将驱动力无摩擦地传递到运动平台。这种驱动装置可以达到很高的速度和加速度。无铁电机特别适用于对精度要求极高的定位任务,因为它不会与永久磁铁产生不良影响。因此,即使在最低速度时也能平稳运行,同时在高速时也不会产生振动。避免了控制行为的非线性,任何位置都能轻松控制。 利用增量式线性编码器进行高精度位置测量 非接触式光学编码器可直接在平台上测量位置,精度极高。非线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。可根据要求提供更多行程范围。 ...

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NATSU PRECISION TRADE LIMITED
高精度位移台
高精度位移台
E-LMT-XY

运行行程: 10 mm
速度: 500, 50 mm/s
重复精度: 0.3 mm

... 悬臂载荷会导致支撑线性轴承发生偏移。 通过音圈伺服电机实现高分辨率线性运动E-ABVT-Z 由音圈电机内部驱动,配备气浮传输导轨。 配有气浮传送导轨(也可使用十字球导轨),使用高分辨率光栅来闭合环路,并配备了气浮导轨(也可使用十字球导轨)。 并配备高性能驱动器,以确保定位台的最小位移和可重复性。 实现卓越性能。 计算机控制、软件、编程 ...

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NATSU PRECISION TRADE LIMITED
XYZ轴位移台
XYZ轴位移台
E-LMT-XYZ

运行行程: 20, 200 mm
速度: 500, 30 mm/s
重复精度: 0.3 µm

... 悬臂载荷会导致支撑线性轴承发生偏移。 通过音圈伺服电机实现高分辨率线性运动E-ABVT-Z 由音圈电机内部驱动,配备气浮传输导轨。 配有气浮传送导轨(也可使用十字球导轨),使用高分辨率光栅来闭合环路,并配备了气浮导轨(也可使用十字球导轨)。 并配备高性能驱动器,以确保定位台的最小位移和可重复性。 实现卓越性能。 计算机控制、软件、编程 ...

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NATSU PRECISION TRADE LIMITED
线性位移台
线性位移台
HEX-S5.10.60-XXX Series

速度: 15, 100 mm/s
重复精度: 0.2, 0.3 µm

... HEX-S5.10.60-XXX 系列平行移动平台六自由移动平台 简要说明: 六自由度平行运动设计使其比串联运动系统更紧凑、更坚固,动态范围更大,无移动电缆:更稳定、摩擦更小 ...

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六足式位移台
六足式位移台
HEX-S6.50.200

速度: 100, 15 mm/s
载荷: 750 kg

... HEX-S6.50.200 6 轴六足三脚架 平行六自由度平台 简短说明: 特点高精度,可组装,可定制,光圈 460mm 在紧凑坚固的平台上实现稳定可靠的运动精度 具有超精细的定位分辨率和足够的有效载荷能力 在可用空间有限的情况下,非常适合需要复杂多自由度运动的应用。适用于半导体测试晶片的水平校准。光学检测、大中空孔径调整光路的应用场景。 ...

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线性位移台
线性位移台
E-GLMT-XY

速度: 500 mm/s
重复精度: 0.5 µm
载荷: 50 kg

... E-GLMT-XY (高精度直线电机平台) XY 线性电机平台 简要说明: 直线电机 直线电机是一种电磁直接驱动装置。它们省去了传动系统中的机械部件,直接将驱动力无摩擦地传递到运动平台。这种驱动装置可以达到很高的速度和加速度。无铁电机特别适用于对精度要求极高的定位任务,因为它不会与永久磁铁产生不良影响。因此,即使在最低速度时也能平稳运行,同时在高速时也不会产生振动。避免了控制行为的非线性,任何位置都能轻松控制。驱动力可以自由设定。 利用增量式线性编码器进行高精度位置测量 非接触式光学编码器直接在平台上测量位置,精度最高。非线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。可根据要求提供更多行程范围。 医疗行业。激光切割。扫描。生物技术。计量。AOI(自动光学检测)。激光打标 行程范围 ...

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XYZ轴位移台
XYZ轴位移台
E-TRI-R5

载荷: 20 kg

... 三自由度平行运动设计,比串行运动系统更紧凑、更坚固,动态性能更高,无移动电缆:可靠性更高,摩擦更小。 TRI 轴平行运动平台 这是我们公司的特色产品。与其他高端多自由度平台相比,我们的产品具有很高的性价比。 三轴采用并联结构,每个轴可配备步进电机或伺服电机。控制器内部独特的控制算法实现了高精度控制; 优化整个系统的刚性; 平台中间可能有明显的开孔; 适用于:科学研究、微操作、生物技术、半导体制造等。 步进电机特别适用于低速。它们可以进行非常精确的控制,并确保高精度。由于无需滑动触点,因此运行平稳、无磨损,使用寿命长。 六脚架模拟工具 ...

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线性位移台
线性位移台
E-MST-XY 205X205

重复精度: 2 µm
载荷: 5 kg

... E-MST-XY 205X205 工业测量显微镜扫描平台 简要说明: 工业显微镜直线电机平台是专为主流科研级倒置显微镜设计开发的产品。它具有精度更高、响应更快、速度更快、寿命更长等优点。此外,由于直线电机是非接触式直接驱动机构,几乎没有噪音,是传统的显示电机。微镜平台的优化升级产品。 ...

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线性位移台
线性位移台
E-MST-XY-110X110

重复精度: 1.5 µm
载荷: 10 kg

... 工业显微镜直线电机平台是专为主流科研级倒置显微镜设计开发的产品。它具有精度更高、响应更快、速度更快、寿命更长等优点。此外,由于直线电机是非接触式直接驱动机构,几乎没有噪音,是传统的显示电机。微镜平台的优化升级产品。 ...

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台式位移台
台式位移台
MiniSCAN

速度: 50, 100, 20, 300 mm/s
重复精度: 300, 20, 100, 2, 200 nm
载荷: 8, 10 kg

... iniSCAN 系列 MiniSCAN 系列是我公司近期推出的一款高精度桌面扫描系统。整机采用稳定性极佳的大理石底座,配备高精度 XY 轴和 Z 轴运动平台,并预留光路安装和照明。该机构可以非常快速地组合成满足客户要求的各种应用。目前,它在半导体晶片扫描、生物检测和干涉仪测量等高精度应用领域已有非常成功的应用案例。MiniSCAN 系列的主要特点 标准桌面级隔振系统 三轴可选高精度直线电机或高稳定性步进电机运动平台 驱动控制系统已嵌入整机结构,无需额外的控制盒 可根据客户要求选择定制的照明和成像机构 ...

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