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速度: 15, 100 mm/s
重复精度: 0.2, 0.3 µm
... HEX-S5.10.60-XXX 系列平行移动平台六自由移动平台 简要说明： 六自由度平行运动设计使其比串联运动系统更紧凑、更坚固，动态范围更大，无移动电缆：更稳定、摩擦更小 ...
NATSU PRECISION TRADE LIMITED
速度: 100, 15 mm/s
载荷: 750 kg
... HEX-S6.50.200 6 轴六足三脚架 平行六自由度平台 简短说明： 特点高精度，可组装，可定制，光圈 460mm 在紧凑坚固的平台上实现稳定可靠的运动精度 具有超精细的定位分辨率和足够的有效载荷能力 在可用空间有限的情况下，非常适合需要复杂多自由度运动的应用。适用于半导体测试晶片的水平校准。光学检测、大中空孔径调整光路的应用场景。 ...
NATSU PRECISION TRADE LIMITED
速度: 0 mm/s - 5 mm/s
重复精度: 0.1 µm
载荷: 0 kg - 25 kg
... E-TRI 系列 E-TRI-VM-R1 平动平台 简要说明： 使用增量式线性编码器进行高精度位置测量 非接触式直线光栅可直接在平台上测量位置，精度极高。非线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。 ...
NATSU PRECISION TRADE LIMITED
速度: 0 mm/s - 100 mm/s
载荷: 0 kg - 60 kg
NATSU PRECISION TRADE LIMITED
... 表面计量，包括测量圆度、平面度和形状误差 -微量和纳米层析成像 -光束线和同步辐射研究 -精密制造，包括金刚石车削、磨削和其他高性能机床应用 应用 -光学对准、检测和校准系统 -精密设计 -EABRX 系列经过精心设计，能够始终满足最严格的性能要求。 性能要求。其核心是业界领先的空气轴承技术，可提供纳米级误差 其核心是业界领先的空气轴承技术，具有纳米级误差、高刚度和高承载能力的运动性能。 ...
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... 表面计量，包括测量圆度、平面度和形状误差 -微量和纳米层析成像 -光束线和同步辐射研究 -精密制造，包括金刚石车削、磨削和其他高性能机床应用 应用 -光学对准、检测和校准系统 -精密设计 -EABRX 系列经过精心设计，能够始终满足最严格的性能要求。 性能要求。其核心是业界领先的空气轴承技术，可提供纳米级误差 其核心是业界领先的空气轴承技术，具有纳米级误差、高刚度和高承载能力的运动性能。 ...
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速度: 500 mm/s
重复精度: 0.15, 0.1 µm
载荷: 50 kg
... E-ABT-XY-360X360 (陶瓷直线电机平台) XY 空气轴承直线电机平台 简要说明： 陶瓷版采用高纯度氧化铝作为气浮结构和导轨元件。与花岗岩和金属相比，氧化铝陶瓷具有较小的膨胀系数，以及直线度、硬度和耐磨性等优点。 扫描应用或高精度定位的理想选择 与无尘室兼容 行程范围达 360 毫米 × 360 毫米 负载能力达 500 N 分辨率达 4.88nm 或 1nm，速度达 500mm/s 增量式编码器或绝对式编码器 可提供氧化铝陶瓷型号，这种材料具有最高的精度和性能，但价格较高。 过滤器和空气准备套件 附加轴 机床底座 花岗岩底板和减震系统 适用于附加定位器的支架，如尖端/倾斜平台或带压电驱动的 ...
NATSU PRECISION TRADE LIMITED
... -提供同类最佳的旋转运动，帮助您优化高精度工艺 工艺 -最大限度地减少轴向、径向和倾斜运动误差，从而减少对零件和测量数据进行大量后 减少对零件和测量数据进行大量后处理的需要 -在不影响运动质量的情况下提供强大的承载能力 -结构紧凑、重量轻，易于集成到精密系统和机器中。 由于结构紧凑、重量轻，以及水平和垂直安装和承载能力，可轻松集成到精密系统和机器中 提供同类最佳的旋转运动，帮助您优化高精度工艺 将轴向、径向和倾斜运动误差降至最低，减少了对零件和测量数据进行大量后处理的需要 4R-NG ...
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... 与洁净室兼容 运动平台直径从 100 毫米到 300 毫米不等 偏心率和平面度 < 100 nm 可垂直或水平安装 设计特点 提供一流的旋转运动，帮助您优化高精度工艺 将轴向、径向和倾斜运动误差降至最低，减少对零件和测量数据进行大量后处理的需要 在不影响运动质量的前提下提供强大的承载能力 由于结构紧凑、重量轻、具有水平和垂直安装及承载能力，因此可轻松集成到精密系统和机器中 主要应用 E-3R-NG 平台是高精度应用的理想选择，包括 表面计量，包括测量圆度、平面度和形状误差 ...
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... -与洁净室兼容 -可垂直或水平安装 -直接驱动、旋转气浮平台 -模拟和数字位置反馈 产品概览 提供同类最佳的旋转运动，帮助您优化高精度过程 将轴向、径向和倾斜运动误差降至最低，从而减少对零件和测量数据进行大量后处理的需要 测量数据 通过高分辨率反馈提供出色的定位性能和速度稳定性 采用新颖的无影响电机设计，有助于实现超精密运动性能 在不影响运动质量的前提下提供强大的承载能力 结构紧凑、重量轻，可轻松集成到精密系统和机器中，同时还具有水平和垂直安装以及承载能力。 垂直安装和承载能力 可安装在任何方向 ...
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