Precision STAGE线性位移台

速度: 50, 100, 20, 300 mm/s
重复精度: 300, 20, 100, 2, 200 nm
载荷: 8, 10 kg

... iniSCAN 系列 MiniSCAN 系列是我公司近期推出的一款高精度桌面扫描系统。整机采用稳定性极佳的大理石底座，配备高精度 XY 轴和 Z 轴运动平台，并预留光路安装和照明。该机构可以非常快速地组合成满足客户要求的各种应用。目前，它在半导体晶片扫描、生物检测和干涉仪测量等高精度应用领域已有非常成功的应用案例。MiniSCAN 系列的主要特点 标准桌面级隔振系统 三轴可选高精度直线电机或高稳定性步进电机运动平台 驱动控制系统已嵌入整机结构，无需额外的控制盒 可根据客户要求选择定制的照明和成像机构 ...

速度: 2 m/s
重复精度: 100 nm - 350 nm
载荷: 20 kg

... 运动平台尺寸 400 毫米 × 138 毫米 移动范围 200 毫米至 1000 毫米 分辨率达 5 纳米 平台配备带预载空气轴承的伺服驱动直线电机和集成式直线光栅。这些非接触式组件的组合造就了一个无摩擦运动平台，具有最高的性能、质量和使用寿命。 高力线性电机可在几毫秒内将平台驱动到最高速度，大容量轴承可支持重达 20 公斤的有效载荷。该型号采用横向对置、主动预载空气轴承设计，允许以任何方向安装。 编码器 过滤器和空气准备套件 单轴和多轴运动控制器 XY ...

速度: 2 m/s
重复精度: 0.5 µm
载荷: 20 kg

... E-U1LM200-XX 系列直线电机平台 简要说明： E-U1LM200 精密线性平台 高速精密磁性直接驱动 行程范围达 800 毫米 速度高达 2 米/秒 分辨率为 100 nm 的支架编码器或分辨率为 4.88 nm 的 1vpp 模拟编码器 直线光栅精度最高：最小增量运动 100 nm 高导向精度 设计紧凑，宽度为 200 毫米 E-U1LM200-XX 系列是 PRECISION-STAGE 生产的一款高性价比工业直线电机位移平台，它是 ...

速度: 200, 1,000 mm/s
重复精度: 3, 1 µm
载荷: 50, 30 kg

... μSCAN 系列扫描系统是我公司近期推出的高性能集成系统。整机采用高刚性花岗岩为基体，配合高性能直线电机和伺服平台，主要用于高精度扫描、加工、检测等应用。标准行程参数的选择支持快速交货，大大减少了客户因不熟悉组合而造成的组合缺陷和因不熟悉调试而造成的性能缺陷。 XY 轴由 U1 系列高性能直线电机平台组成（迷宫式密封具有良好的保护效果，无易损件和灰尘） R 轴采用高精度平面 DD 电机 Z 轴配备 U3 系列高精度伺服电机平台（可选 NFZ240 高性能直线电机平台） 底座由济南蓝或印度黑等高性能石材制成，精度可选择 ...

运行行程: 20, 200 mm
速度: 500, 30 mm/s
重复精度: 0.3 µm

... 垂直平台的设计提供了出色的直线度和平面度，与垂直安装的线性定位平台相比，具有更好的俯仰和偏航性能。 与垂直安装的线性定位平台相比，垂直平台的悬臂载荷会导致支撑线性轴承发生偏移。 悬臂载荷会导致支撑线性轴承发生偏移。 通过音圈伺服电机实现高分辨率线性运动E-ABVT-Z 由音圈电机内部驱动，配备气浮传输导轨。 配有气浮传送导轨（也可使用十字球导轨），使用高分辨率光栅来闭合环路，并配备了气浮导轨（也可使用十字球导轨）。 并配备高性能驱动器，以确保定位台的最小位移和可重复性。 实现卓越性能。 计算机控制、软件、 ...

速度: 500 mm/s
重复精度: 0.5 µm
载荷: 50 kg

... XY 线性电机平台 简要说明： 直线电机 直线电机是一种电磁直接驱动装置。它们省去了传动系统中的机械部件，直接将驱动力无摩擦地传递到运动平台。这种驱动装置可以达到很高的速度和加速度。无铁电机特别适用于对精度要求极高的定位任务，因为它不会与永久磁铁产生不良影响。因此，即使在最低速度时也能平稳运行，同时在高速时也不会产生振动。避免了控制行为的非线性，任何位置都能轻松控制。驱动力可以自由设定。 利用增量式线性编码器进行高精度位置测量 非接触式光学编码器直接在平台上测量位置，精度最高。非线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响 ...

重复精度: 2 µm
载荷: 5 kg

... E-MST-XY 205X205 工业测量显微镜扫描平台 简要说明： 工业显微镜直线电机平台是专为主流科研级倒置显微镜设计开发的产品。它具有精度更高、响应更快、速度更快、寿命更长等优点。此外，由于直线电机是非接触式直接驱动机构，几乎没有噪音，是传统的显示电机。微镜平台的优化升级产品。 ...

速度: 300 mm/s
重复精度: 150 nm
载荷: 25 kg

... 通过产生出色的俯仰、滚动、偏航、直线度和平面度规格，最大限度地提高了性能。 该平台背后的驱动力是 Precision-stage 系列无刷线性伺服电机。它采用无铁锻造器，这意味着零齿槽和无吸引力，从而带来无与伦比的运动平稳性。 我们的完全非接触式空气轴承、非接触式线性电机驱动器和非接触式反馈装置可确保设备在高性能水平下多年免维护运行。由于运动元件之间没有机械接触，因此随着时间的推移，E-LMT145-Z ...

速度: 200 mm/s
重复精度: 10 nm
载荷: 6 kg

... 通过产生出色的俯仰、滚动、偏航、直线度和平面度规格，最大限度地提高了性能。 该平台背后的驱动力是 Precision-stage 系列无刷线性伺服电机。它采用无铁锻造，这意味着零齿槽和无吸引力，从而带来无与伦比的运动平稳性。 我们的完全非接触式空气轴承、非接触式线性电机驱动器和非接触式反馈装置可确保设备在高性能水平下多年免维护运行。由于运动元件之间没有机械接触，因此随着时间的推移，E-LMT145-Z ...

速度: 25 mm/s
重复精度: 1 µm
载荷: 6 kg

... 因为垂直安装的平台悬臂载荷会导致支撑线性轴承发生偏移。 采用语音伺服电机实现高分辨率线性运动 E-SST160-Z50 由步进电机内部驱动，配备交叉滚珠导轨，使用高分辨率光栅闭环，并配备高性能驱动器，以确保定位平台的最小位移和可重复性。 E-SST160-Z50 Z 轴步进电机升降台2 (2) 计算机控制、软件、编程 可选择单轴和多轴高性能运动控制器来操作 ...