Precision STAGE线性电机驱动位移台

速度: 500 mm/s
重复精度: 0.5 µm
载荷: 50 kg

... E-GLMT-XY （高精度直线电机平台） XY 线性电机平台 简要说明： 直线电机 直线电机是一种电磁直接驱动装置。它们省去了传动系统中的机械部件，直接将驱动力无摩擦地传递到运动平台。这种驱动装置可以达到很高的速度和加速度。无铁电机特别适用于对精度要求极高的定位任务，因为它不会与永久磁铁产生不良影响。因此，即使在最低速度时也能平稳运行，同时在高速时也不会产生振动。避免了控制行为的非线性，任何位置都能轻松控制。驱动力可以自由设定。 利用增量式线性编码器进行高精度位置测量 非接触式光学编码器直接在平台上测量位置 ...

重复精度: 1.5 µm
载荷: 10 kg

... 工业显微镜直线电机平台是专为主流科研级倒置显微镜设计开发的产品。它具有精度更高、响应更快、速度更快、寿命更长等优点。此外，由于直线电机是非接触式直接驱动机构，几乎没有噪音，是传统的显示电机。微镜平台的优化升级产品。 ...

速度: 50, 100, 20, 300 mm/s
重复精度: 300, 20, 100, 2, 200 nm
载荷: 8, 10 kg

... 轴运动平台，并预留光路安装和照明。该机构可以非常快速地组合成满足客户要求的各种应用。目前，它在半导体晶片扫描、生物检测和干涉仪测量等高精度应用领域已有非常成功的应用案例。MiniSCAN 系列的主要特点 标准桌面级隔振系统 三轴可选高精度直线电机或高稳定性步进电机运动平台 驱动控制系统已嵌入整机结构，无需额外的控制盒 可根据客户要求选择定制的照明和成像机构 可选高精度测距模块，实现 ...

速度: 1,000 mm/s
载荷: 30 kg

... E-LMTE390-XY-330X330 大行程空心直线电机平台 简要说明： 用于大型中空显微镜，广泛应用于半导体检测。 ...

速度: 300 mm/s
重复精度: 150 nm
载荷: 25 kg

... 通过产生出色的俯仰、滚动、偏航、直线度和平面度规格，最大限度地提高了性能。 该平台背后的驱动力是 Precision-stage 系列无刷线性伺服电机。它采用无铁锻造器，这意味着零齿槽和无吸引力，从而带来无与伦比的运动平稳性。 我们的完全非接触式空气轴承、非接触式线性电机驱动器和非接触式反馈装置可确保设备在高性能水平下多年免维护运行。由于运动元件之间没有机械接触，因此随着时间的推移，E-LMT145-Z ...

速度: 200 mm/s
重复精度: 10 nm
载荷: 6 kg

... 通过产生出色的俯仰、滚动、偏航、直线度和平面度规格，最大限度地提高了性能。 该平台背后的驱动力是 Precision-stage 系列无刷线性伺服电机。它采用无铁锻造，这意味着零齿槽和无吸引力，从而带来无与伦比的运动平稳性。 我们的完全非接触式空气轴承、非接触式线性电机驱动器和非接触式反馈装置可确保设备在高性能水平下多年免维护运行。由于运动元件之间没有机械接触，因此随着时间的推移，E-LMT145-Z ...

速度: 2 m/s
重复精度: 0.3 µm
载荷: 1 g

... ELMT-MINIXY 系列具有极其紧凑的尺寸和出色的动态性能，特别适合那些对空间尺寸敏感的用户，同时希望有更大的行程和更高精度的应用场景。 一体式结构加工，刚性和稳定性好，平面度高 非接触式直接驱动电机，超高精度和优异的动态性能 无铁电机，速度波动小于千分之一（结合指定驱动类型、实验室环境测试数据） 静音防爬导轨，确保微步控制 ...

运行行程: 100 mm
速度: 0 mm/s - 500 mm/s
重复精度: 0.1 mm

... 小型直线电机共面空气轴承平台 磁性预载空气导轨 ...

运行行程: 300 mm
速度: 0 m/s - 500 m/s
重复精度: 0.05 mm

... E-CPA-XY （共面空气轴承 XY 平台） 简要说明： X 轴横梁由氧化铝陶瓷制成。与大理石横梁相比，陶瓷横梁具有更好的精度、稳定性和耐磨性。 ...

速度: 1,000 mm/s
重复精度: 0.2 mm
载荷: 10 kg

... 具有更小的横截面，而不影响负载能力。较大的气浮表面提供了出色的刚度，可承受重负荷。专有制造工艺 技术使平台具有无与伦比的俯仰、滚动和偏航特性。 该平台背后的驱动力是精密平台无刷线性伺服电机。它采用了无铁锻造机，这意味着没有齿槽，也没有吸引力，从而实现了无与伦比的平滑运动。由于平台无摩擦，电机零齿槽，因此可以实现极高的分辨率。 非接触式空气轴承、非接触式线性电机驱动和非接触式反馈装置可确保设备长年免维护运行，达到预期的高性能水平。由于运动元件之间没有机械接触，E-EC-ABL-X ...