Precision STAGE气浮位移台

运行行程: 100, 200 mm
速度: 500 m/s
重复精度: 0.3 µm

... E-LMT-XY (高精度直线电机平台) XY 线性电机运动平台 简要说明 移动范围 100 mm × 100 mm 或 200 mm × 200 mm 单向重复精度达 0.3 µm 无铁三相直线电机 速度增量至 500 mm/s 分辨率为 4.88 nm 的直线光栅尺 交叉滚柱导轨 直线电机 直线电机是一种电磁直接驱动装置。它们省去了传动系统中的机械部件，直接将驱动力无摩擦地传递到运动平台。这种驱动装置可以达到很高的速度和加速度。无铁电机特别适用于对精度要求极高的定位任务，因为它不会与永久磁铁产生不良影响。因此，即使在最低速度时也能平稳运行，同时在高速时也不会产生振动。避免了控制行为的非线性，任何位置都能轻松控制。 利用增量式线性编码器进行高精度位置测量 非接触式光学编码器可直接在平台上测量位置，精度极高。非线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。可根据要求提供更多行程范围。 ...

速度: 200 mm/s
重复精度: 10 nm
载荷: 6 kg

... 设计特点 专为高性能扫描和检测而设计 所有空气轴承表面都有主动空气预紧力 线性编码器反馈提供亚纳米分辨率 高刚度可承受重负荷，几何性能卓越 行程为 50 毫米和 100 毫米 整体平衡 高动态性能的空气轴承设计 E-LMT145-Z 在垂直和水平表面上都采用了气对气预载。相对的薄膜压力可保持轴承公称间隙公差。这种设计，再加上大面积的空气轴承表面将载荷分散到较大的表面区域，使平台具有出色的刚度，非常适合重载或偏置载荷。 专有的制造技术使平台具有无与伦比的几何特性，通过产生出色的俯仰、滚动、偏航、直线度和平面度规格，最大限度地提高了性能。 该平台背后的驱动力是 ...

运行行程: 100 mm
速度: 0 mm/s - 500 mm/s
重复精度: 0.1 mm

... 小型直线电机共面空气轴承平台 磁性预载空气导轨 ...

运行行程: 300 mm
速度: 0 m/s - 500 m/s
重复精度: 0.05 mm

... E-CPA-XY （共面空气轴承 XY 平台） 简要说明： X 轴横梁由氧化铝陶瓷制成。与大理石横梁相比，陶瓷横梁具有更好的精度、稳定性和耐磨性。 ...

速度: 2 m/s
重复精度: 100 nm - 350 nm
载荷: 20 kg

... 扫描应用或高精度定位的理想选择 与无尘室兼容 运动平台尺寸 400 毫米 × 138 毫米 移动范围 200 毫米至 1000 毫米 分辨率达 5 纳米 平台配备带预载空气轴承的伺服驱动直线电机和集成式直线光栅。这些非接触式组件的组合造就了一个无摩擦运动平台，具有最高的性能、质量和使用寿命。 高力线性电机可在几毫秒内将平台驱动到最高速度，大容量轴承可支持重达 20 公斤的有效载荷。该型号采用横向对置、主动预载空气轴承设计，允许以任何方向安装。 编码器 过滤器和空气准备套件 单轴和多轴运动控制器 XY ...

速度: 1,000 mm/s
重复精度: 0.2 µm
载荷: 10 kg

... E-EC-ABL-X 系列直线电机平台采用空气轴承导轨与铁芯直线电机相结合的方式，具有传统机械导轨无法比拟的直线度和平面度，特别适用于小步距或超精密定位的应用场景。是精密光学调试、安装和加工的绝佳应用选择。 空气轴承直线导轨具有非常好的平面度和直线度 铁芯直线电机确保足够的系统刚性和动态性能 运行安静稳定，噪音极低 具有极高的精度性能 扫描应用或高精度定位的理想选择 与无尘室兼容 运动平台尺寸 210 毫米 × 100 毫米 移动范围 200 毫米至 ...

... 表面计量，包括测量圆度、平面度和形状误差 -微量和纳米层析成像 -光束线和同步辐射研究 -精密制造，包括金刚石车削、磨削和其他高性能机床应用 应用 -光学对准、检测和校准系统 -精密设计 -EABRX 系列经过精心设计，能够始终满足最严格的性能要求。 性能要求。其核心是业界领先的空气轴承技术，可提供纳米级误差 其核心是业界领先的空气轴承技术，具有纳米级误差、高刚度和高承载能力的运动性能。 ...

... 表面计量，包括测量圆度、平面度和形状误差 -微量和纳米层析成像 -光束线和同步辐射研究 -精密制造，包括金刚石车削、磨削和其他高性能机床应用 应用 -光学对准、检测和校准系统 -精密设计 -EABRX 系列经过精心设计，能够始终满足最严格的性能要求。 性能要求。其核心是业界领先的空气轴承技术，可提供纳米级误差 其核心是业界领先的空气轴承技术，具有纳米级误差、高刚度和高承载能力的运动性能。 ...

速度: 500 mm/s
重复精度: 0.15, 0.1 µm
载荷: 50 kg

... E-ABT-XY-360X360 (陶瓷直线电机平台) XY 空气轴承直线电机平台 简要说明： 陶瓷版采用高纯度氧化铝作为气浮结构和导轨元件。与花岗岩和金属相比，氧化铝陶瓷具有较小的膨胀系数，以及直线度、硬度和耐磨性等优点。 扫描应用或高精度定位的理想选择 与无尘室兼容 行程范围达 360 毫米 × 360 毫米 负载能力达 500 N 分辨率达 4.88nm 或 1nm，速度达 500mm/s 增量式编码器或绝对式编码器 可提供氧化铝陶瓷型号，这种材料具有最高的精度和性能，但价格较高 ...

速度: 1,000 mm/s
重复精度: 0.2 mm
载荷: 10 kg

... 行程范围为 100 毫米至 400 毫米 负载能力 10 公斤 空气轴承设计 与典型的气浮平台相比，● 具有更小的横截面，而不影响负载能力。较大的气浮表面提供了出色的刚度，可承受重负荷。专有制造工艺 技术使平台具有无与伦比的俯仰、滚动和偏航特性。 该平台背后的驱动力是精密平台无刷线性伺服电机。它采用了无铁锻造机，这意味着没有齿槽，也没有吸引力，从而实现了无与伦比的平滑运动。由于平台无摩擦，电机零齿槽，因此可以实现极高的分辨率。 非接触式空气轴承、非接触式线性电机驱动和非接触式反馈装置可确保设备长年免维护运行 ...