Precision STAGE高精度位移台

运行行程: 100, 200 mm
速度: 500 m/s
重复精度: 0.3 µm

... E-LMT-XY (高精度直线电机平台) XY 线性电机运动平台 简要说明 移动范围 100 mm × 100 mm 或 200 mm × 200 mm 单向重复精度达 0.3 µm 无铁三相直线电机 速度增量至 500 mm/s 分辨率为 4.88 nm 的直线光栅尺 交叉滚柱导轨 直线电机 直线电机是一种电磁直接驱动装置。它们省去了传动系统中的机械部件，直接将驱动力无摩擦地传递到运动平台。这种驱动装置可以达到很高的速度和加速度。无铁电机特别适用于对精度要求极高的定位任务，因为它不会与永久磁铁产生不良影响 ...

运行行程: 10 mm
速度: 500, 50 mm/s
重复精度: 0.3 mm

... 悬臂载荷会导致支撑线性轴承发生偏移。 通过音圈伺服电机实现高分辨率线性运动E-ABVT-Z 由音圈电机内部驱动，配备气浮传输导轨。 配有气浮传送导轨（也可使用十字球导轨），使用高分辨率光栅来闭合环路，并配备了气浮导轨（也可使用十字球导轨）。 并配备高性能驱动器，以确保定位台的最小位移和可重复性。 实现卓越性能。 计算机控制、软件、编程 ...

速度: 15, 100 mm/s
重复精度: 0.2, 0.3 µm

... HEX-S5.10.60-XXX 系列平行移动平台六自由移动平台 简要说明： 六自由度平行运动设计使其比串联运动系统更紧凑、更坚固，动态范围更大，无移动电缆：更稳定、摩擦更小 ...

速度: 50, 100, 20, 300 mm/s
重复精度: 300, 20, 100, 2, 200 nm
载荷: 8, 10 kg

... 系列是我公司近期推出的一款高精度桌面扫描系统。整机采用稳定性极佳的大理石底座，配备高精度 XY 轴和 Z 轴运动平台，并预留光路安装和照明。该机构可以非常快速地组合成满足客户要求的各种应用。目前，它在半导体晶片扫描、生物检测和干涉仪测量等高精度应用领域已有非常成功的应用案例。MiniSCAN 系列的主要特点 标准桌面级隔振系统 三轴可选高精度直线电机或高稳定性步进电机运动平台 ...

速度: 2 m/s
重复精度: 0.3 µm
载荷: 1 g

... ELMT-MINIXY 系列具有极其紧凑的尺寸和出色的动态性能，特别适合那些对空间尺寸敏感的用户，同时希望有更大的行程和更高精度的应用场景。 一体式结构加工，刚性和稳定性好，平面度高 非接触式直接驱动电机，超高精度和优异的动态性能 无铁电机，速度波动小于千分之一（结合指定驱动类型、实验室环境测试数据） 静音防爬导轨，确保微步控制 使用寿命长，长期使用免维护 ...

运行行程: 100 mm
速度: 0 mm/s - 500 mm/s
重复精度: 0.1 mm

... 小型直线电机共面空气轴承平台 磁性预载空气导轨 ...

运行行程: 300 mm
速度: 0 m/s - 500 m/s
重复精度: 0.05 mm

... E-CPA-XY （共面空气轴承 XY 平台） 简要说明： X 轴横梁由氧化铝陶瓷制成。与大理石横梁相比，陶瓷横梁具有更好的精度、稳定性和耐磨性。 ...

速度: 0 mm/s - 5 mm/s
重复精度: 0.1 µm
载荷: 0 kg - 25 kg

... E-TRI 系列 E-TRI-VM-R1 平动平台 简要说明： 使用增量式线性编码器进行高精度位置测量 非接触式直线光栅可直接在平台上测量位置，精度极高。非线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。 ...

速度: 0 mm/s - 100 mm/s
载荷: 0 kg - 60 kg

速度: 3,000 mm/s
重复精度: 0.3 µm
载荷: 200 kg

... E-EC-ABL-X 一维气浮运动平台 简要说明： 全预载空气轴承 行程可达 1000 毫米 高精度直线光栅反馈 完全非接触式设计 超平滑设计实现出色的速度稳定性 与典型的气浮平台相比，气浮平台的横截面更小，但不影响负载能力。大的气浮表面具有极佳的刚度，可承受重载。专有的制造技术使平台具有无与伦比的俯仰、滚动和偏航特性。线性电机驱动 该平台背后的驱动力是精密级无刷线性伺服电机。它采用了无铁芯伺服电机，这意味着没有齿槽和吸引力，从而实现了无与伦比的平滑运动。由于平台无摩擦，电机零齿槽，因此可实现极高的分辨率 ...